2台のポンプのフィルタ保持率への影響

このレポートは、閉ループ制御システムとLevitronixシステムからの圧力脈動及び流量脈動を比較し、薄膜フィルタのフィルタ保持効率に対するこれらの影響を評価しています。White Knight システムがPSA060ベローズポンプを特長とする一方で、LevitronixシステムはBPS-4遠心ポンプを使用しました。

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2013年Best of West賞 決勝戦出場者

Solid State Technology誌とSEMIは、White Knightの薬品処理・配送用閉ループ制御システムを2013年のBest of West Awardのファイナリストに選出しました。閉ループシステムは、高純度薬品処理及び供給システムに、最適なシステム性能を維持するためにカスタマイズ可能なフィードバック能力を使用して、完璧な制御を提供します。 システムは、使用時に設定流量と圧力を必要とするプロセス装置をサポートするよう設計されています。

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CPC-1閉ループコントローラ

閉ループコントローラ(CPC-1)は、高純度閉ループ薬品ポンプシステム内で、チャンババルブの開閉やフィルタの目詰まり等、ウェーハプロセスにおける変数を補正するために、設定圧力と流量を自動的に調節しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。

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DBA 及びDBH シリーズパルス脈動吸収装置

DBA及びDBHシリーズインライン上部搭載型パルス脈動吸収装置は、White Knight高純度ポンプの能力を向上させます。 これらは、流体システム内脈動の低減、流量制御の改善、バッチ歩留まりの向上、フィルタ、継手、及び配管の保護、及びシステムの修理によるダウンタイムの大幅な短縮を実現しています。 DBA及びDBHシリーズ脈動吸収装置は、各々最高温度100℃と145℃で動作します。

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