在国际半导体设备与材料展览暨研讨会2015年White Knight 演示了高纯的流量和压力控制
White Knight 出席2015年国际半导体设备与材料展览暨研讨会展示了高纯度的闭环控制系统、电子计量泵、通用过滤器外壳和压力调节器。
主要演示对比的是White Knight 的高纯的泵系统及磁力泵系统。 White Knight 泵和离心泵的流量脉冲都是相对较低的和几乎相同的,无论在何种条件下进行测试。 White Knight 泵和离心泵测式时使用过滤器并没有发现两者有什么明显的差异。
温度稳定性试验,结果表明White Knight 泵没有增加流体的温度,而离心泵10℃在2小时内增加了流体的温度,并在8小时内超过30℃。 White Knight 的循环控制系统也可以在210°C高温下运行。 White Knight 设计不含金属能够保持输入液体的温度。不同于磁力泵他们使用了叶轮和马达。
热影像上左边是磁力泵右边是 White Knight 的泵。
磁力泵的图象(左)以及 White Knight 泵(右)