高纯电动计量泵和气动计量泵

手册和电子步进控制计量泵准确分配腐蚀性介质

White Knight PEM050 Electronic Metering Pumps

电动计量泵

PEM050泵有Teflon® PTFE液体通路可准确地分配1至50毫升的腐蚀性液体为补充、混合、计量、和强化的程序。 使用Teflon® PTFE活动的膜片、较高的出口压力可以安全可靠的输送化学品。位置控制阀确保精度减缓脉冲,特别是单向阀。 PEM050泵可提供多达5个出液口,以编程系统÷逻辑独立控制。

  • 电控可调式行程
  • 配液量高达50毫升
  • 高精度泵具有高达±0.01%重复性
  • 允许60-80psi压力
  • 可编程序系统逻辑
  • 2到6接口配置
PEM050规格表
White Knight PPM100 Pneumatic Metering Pumps

气动计量泵

PPM100气动计量泵准确地分配到在Teflon® PTFE液体回路百毫升高纯度化学品。 它使滚动式膜片具有最大排气压力的能力。 位置控制阀减缓脉冲,特别以单向阀确保其精度。

  • 手动控制的行程可调
  • 配液量高达100毫升
  • 高精度泵具有高达±0.1%重复性
  • 允许60-85psi压力
PPM100规格表

用户手册

PEM050 用户手册PPM100 用户手册

爆炸图

PEM050 分解图PPM100 分解图

CAD模型

PPM100 CAD模型

系列订购说明

PEM050 系列订购说明PPM100 系列订购说明
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White Knight 高纯度聚四氟乙烯PTFE泵
White Knight 泵送高达100度的高纯度液体
White Knight 一年的保固
半导体泵CE认证

PEM050操作

概述

White Knight 计量泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用,以确保精确的化学混合物,并且允许在原位直接在头部混合调节流速。 泵是在高纯化学品的精确分配补充,混合,计量等应用,以及清洗CVD设备和光刻。 他们是理想的光致抗蚀剂,蚀刻和清洗工艺,食人鱼过氧化混合物扣球,和之前推出基板化学混合物进入处理槽等混合。

特点和优点

  • 完全可调的行程速度
  • 安全、无泄漏操作,不需要维护
  • 无暴露的金属防止腐蚀和污染
  • 高纯度化学品完全包揽Teflon® PTFE流体通道
  • PP外壳的Teflon® PTFE材质的旋转膜片
  • 易于安装和检查
  • 嵌入或外挂的组件易于安装和维护
  • 易于安装在任意方向
  • 洁净室内组装,测试及包装
  • 泄漏检测口
  • 自吸式
  • 占用空间小
  • 最小的保持量
  • 正面的进/出口阀可防止气体通过

泵的规范

 
Dispense Range
1 - 50 ml per stroke
10 - 100 ml per stroke
Dispense Repeatability
± 0.01% (Full Scale)
± 0.1% (Full Scale)
Cycles Per Minute
up to 6 CPM
up to 12 CPM
Air Consumption
SCF per Cycle
1-3 SCFM
0.038-0.048 SCFM
Fluid Path Materials
PTFE
PTFE
Valve Actuation
Air Pressure
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
Max Discharge Pressure
5.51 Bar
(80 PSI)
5.86 Bar
(85 PSI)
Temperature Capability
up to 100°C (212°F)
up to 100°C (212°F)
Weight
1.6 KG
3.5 LBS
1.6 KG
3.5 LBS
Suction Lift*
4.6 Meter
15 Feet
4.6 Meter
15 Feet
Communication
Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
-
Leak Detection Options
Valve Position Sensing
Valve Position Sensing
 

*Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 4.6 m (15 ft) above source.
**Optimized parameters can improve repeatability (up to ± 0.01%). Minimize suction lift to maximize repeatability. Tests conducted with water at ambient temperature. Dispense range measured at full stroke with maximum and minimum supply pressures at 80 PSI and 60 PSI. Contact White Knight for details.

泵的尺寸

 
"A"
"B"
PEM050-02
2.7 (69)
11.0 (279)
PEM050-03
4.2 (107)
12.5 (318)
PEM050-04
4.2 (107)
12.5 (318)
PEM050-05
5.7 (145)
14.0 (356)
PEM050-06
5.7 (145)
14.0 (356)
下载 PEM050 尺寸图(PDF)
下载 PPM100 尺寸图(PDF)

PEM电动计量泵配置

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