两个泵对过滤器保持性的影响

脉冲强度:

快速反应的压力和流量传感器被安装在泵的下游用于量化的评估压力及流动脉冲。 Entegris型号为4100单端口压力传感器(0-60 psig)被用于量化大规模的压力脉动。 Futurestar的FM 3103 – PS XP / F ( 0-50 lpm )流量计被用于量化大量的流量的脉动。 在1000Hz的收集压力和流量测量值。 在每个测试的状态下数据收集和分析超过一分钟的间隔。

过滤器固定测量:

图1给出了测试系统的示意图。循环泵是用来提供一个连续的低颗粒饲料（神秘；1.0/ml≥0.05μm）去离子水对泵的评价。

两个光学粒子计数器是用于这一评价:粒子测量系统HSLIS M 50粒子监控器和粒子测量系统LiQuilaz S 05液体颗粒计数器。 在M50有四个大小通道和测量颗粒从≥0.05，≥0.10，≥0.15，或0.20≥微米。 LiQuilaz S05有15个通道从≥0.5到≥20μm。

过滤器固定测量结果由喷射PSL到泵的上游流量进行评估。 PSL解决方案包括溶液由颗粒尺寸范围从73到直径为400nm。 在流量范围从5到10加仑的条件下，进行了微粒值的测量。 微粒濃度監測仪在过滤器的进出口监测每個粒子注入。 此外,上下游的背底量测之前和之后的每个粒子喷射测试,以确保该粒子的浓度足够低迎接挑战。 二 10″ 0.05μM mykrolis进行ATM过滤器平行排列，这期间保留。 过滤器的表面速度是0.5-1.0 cm/min，取决于测试流量。 这对于每一个泵在每个粒子的大小计算挑战的保留效率。

在这份报告中,过滤器保持数据表示为过滤减少值。 LRV是被规定:

• LRV = log10 ((CI – CBI)/ (CO – CBO))

哪里:

• C1 = 在微粒子注入时位于过滤器进口的粒子浓度
• CBI = 在微粒子注入后位于过滤器进口的环境粒子浓度
• CO = 在颗粒喷射时过滤器出口的颗粒浓度
• CBO = 在微粒子注入后位于过滤器出口的环境粒子浓度

LRV和过滤保持效率之间的关系如表一所示

脉冲强度:

图2至4显示的数字表示在大压力和流量脉动下每种类型的泵的分别大约是5、7.5和10加仑/分。 分析压力和流量的数据会在表格二上显示。 相对标准偏差（RSD）是在每个测试条件下的每个泵一分钟测试间隔计算。

White Knight 泵和 Levitronix 的流量、脉动的对较低和几乎相同的。 脉冲的大小随流量的减小而减小。

测得的压力脉动是至少10倍高于测量的流量脉动，无论泵的或流速。 这可能会影向流量计，使流计量不是会第一时间反应出流量的变化。 5GPM每个泵的测量的脉冲大小类似。 但是,由于流量增加，压力脉冲对 White Knight泵是增加的，对 Levitronix 的泵是减少的如图5所示。

过滤器固定测量:

表III和图6示出了过滤器保留测量每个泵作为颗粒尺寸的结果和流速。 图7 显示每个泵的过滤器固定测量的功能区的在这项研究中压力测量量化RSD。 本测试方法的最大可检测LRV为4，或99.99％的过滤器固持。 73至400纳米的PSL粒子的由0:05微米快速转换的ATM盒被发现是大于4的LRV与流量范围为5至10加仑双泵的保留。 过滤器保留对这些泵没有明显的影响。 73纳米PSL尺寸最小检测PSL尺寸的测量系统HSLIS M50颗粒显示器能够有效地检测。