去除化学药剂供应过程中的气泡
CBA系列的气液分离器可减少化学药剂输送以及晶片加工系统中的气泡。 它们具有4英寸的内径,在气液分离过程中提供更大的表面积。 它们可用于各种可连接的管道长度。 它们具有可配置的接口连接方式和榫槽密封。 可安装液位传感器。
特点和优点
- 过程安全的PTFE和PFA液体通路
- 最高7公斤(100PSI)压力
- 最高100度
- 化学药剂输送以及晶片加工系统中的气液分离
- White Knight 泵独有的 榫和槽型密封件 技术是最可靠和可重复使用的
- 带螺纹连接的挤压式PFA管提供简单的安装和维护并且无需焊接
- 耐高压的能力为更快的工艺提供大流量
- 可达6升的型号
CBA系列的气液分离器