PPM100气动计量泵
White Knight 的高纯度 PPM100气动计量泵 液体接触位置全PTFE结 构。 在高工作压力(60-85 psi).最高每次100毫升，重复性误差+/-0.1%。 泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用，以确保精确的化学混合物，并且允许在原位直接混合调节流速。 泵是在高纯化学品的精确分配补充，混合，计量等应用，以及清洗CVD设备和光刻。 他们是理想的光致抗蚀剂，蚀刻和清洗工艺，食人鱼过氧化混合物扣球，和之前推出基板化学混合物进入处理槽等混合。
White Knight 的高纯度 PPM100气动计量泵 液体接触位置全PTFE结 构。 在高工作压力(60-85 psi).最高每次100毫升，重复性误差+/-0.1%。 泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用，以确保精确的化学混合物，并且允许在原位直接混合调节流速。 泵是在高纯化学品的精确分配补充，混合，计量等应用，以及清洗CVD设备和光刻。 他们是理想的光致抗蚀剂，蚀刻和清洗工艺，食人鱼过氧化混合物扣球，和之前推出基板化学混合物进入处理槽等混合。