White Knight 发布了 PEM050 电子计量泵药液补充、混合、计量、和强化的应用程序。
PEM050泵可提供多达5个出液口,以编程系统÷逻辑独立控制。
计量泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用,以确保精确的化学混合物,并且允许在原位直接在头部混合调节流速。 他们被设计用于化学补充、混合、计量等环境应用、以及使用在清洁CVD设备和光刻。 他们是理想的光致抗蚀剂,蚀刻和清洗工艺,食人鱼过氧化混合物扣球,和之前推出基板化学混合物进入处理槽等混合。
White Knight 发布了 PEM050 电子计量泵药液补充、混合、计量、和强化的应用程序。
PEM050泵可提供多达5个出液口,以编程系统÷逻辑独立控制。
计量泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用,以确保精确的化学混合物,并且允许在原位直接在头部混合调节流速。 他们被设计用于化学补充、混合、计量等环境应用、以及使用在清洁CVD设备和光刻。 他们是理想的光致抗蚀剂,蚀刻和清洗工艺,食人鱼过氧化混合物扣球,和之前推出基板化学混合物进入处理槽等混合。