概述
PCA300泵特点是具有单独的磁悬浮叶轮，没有滑动旋转。 该泵能够提供连续、稳定的、 无脉动流量。 而采用PTFE和PFA材质的对工艺安全的液体通路是超纯湿工艺应用的理想选择。 该泵是通过电气控制叶轮的速度来实现精确控制的。
特点和优点
- 磁悬浮驱动式叶轮
- 电机驱动叶轮在不接触外壳的条件下旋转
- 采用PTFE和PFA材质的对工艺安全的液体通路，适合于高纯度药液及纯水
- 无漏液的Toung-&-Groove密封
- 低颗粒产生和低剪切特性提高了CMP循环管路中的适应性且增长了过滤器的使用寿命
- 无阀门、轴承、旋转密封或机械接触零部件
- 低磨损的特性增加了运行时间并降低维护成本
- 可靠的、安全的操作
- 最高流量140升每分钟
- 输出压力 ≤ 150 psi
- 压差 ≤ 69 psi
- 聚四氟乙烯(FEP)电缆
- 各种液体连接选项的
性能曲线
*图仅供参考。 Performance was measured utilizing 1-1/4 in (1-1/8 in ID) liquid lines with 1 ft flooded suction. Performance may vary in your system. Chart represents flow at 5,000 ft, adjusted to sea level.
电机温度范围
操作
流体通过叶轮中心进入，由于叶轮旋转产生的离心力而被加速。 叶轮通过磁力耦合进行旋转，通过磁力轴承系统悬浮。 由于没有机械联轴器或密封件导致的磨损或失效，该磁力系统延长了泵的使用寿命。
空气冷却模块
冷却模块能够在流体温度高达90°C的情况下连续运行。 耗气量为8SCFM(供气压力为30psi)。
