PEM050电子式计量泵

White Knight 发布了 PEM050 电子计量泵药液补充、混合、计量、和强化的应用程序。

White Knight PEM050电子式计量泵每次最多输送50 ml的高纯度化学品复性性的误差为±0.01%较高的工作压力(60-80 psi)。 PTFE液体路径和支持活动膜片以最大的化学兼容性和排放能力。位置控制阀确保准确性,减少了过程中的脉冲的产生，而其典型代表是单向阀。

PEM050泵可提供多达5个出液口,以编程系统÷逻辑独立控制。

计量泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用，以确保精确的化学混合物，并且允许在原位直接在头部混合调节流速。他们被设计用于化学补充、混合、计量等环境应用、以及使用在清洁CVD设备和光刻。他们是理想的光致抗蚀剂，蚀刻和清洗工艺，食人鱼过氧化混合物扣球，和之前推出基板化学混合物进入处理槽等混合。