快速倾卸阀
iPolymer 快速倾倒阀（”QD”）设计用于快速排空工艺罐。我们的快速倾倒阀由高纯度聚合物制成，可满足您的应用需求，有聚丙烯（POL）、聚偏二氟乙烯（PVDF）、全氟烷氧基（PFA）或聚氯乙烯（PVC）可供选择。这些阀门可直接焊接在储罐底部。我们的快速倾倒阀可配置 O 形圈阀座或圆顶硬阀座。圆顶硬座设计可防止介质在阀门活塞上积聚/积水，并允许流体轻微涓流。这种柱塞式阀门结构非常紧凑，但仍可选配气动开启/弹簧关闭或气动开启/气动关闭执行机构。
规范
| 尺寸 | 2″ | 4″ |
| 执行压力范围（磅/平方英寸） | 60 / 70 | 45 / 55 |
| 介质温度范围 – 聚丙烯 | 30 – 140°F | 30 – 140°F |
| 介质温度范围 – PVDF | 20 – 212°F | 20 – 212°F |
| 大约倾倒率（每分钟 1 英尺水头） | 30 | 60 |
安装说明：安装时，以全启动压力启动阀门，并在焊接阀体到位时保持压力。
尺寸图
| Size | 座椅 | 基地 | A | B | C | D |
| 2″ | O 形环 | 104520 | 2″ | 3″ | 3.0″ | .78″ |
| 2″ | 硬质 | 104521 | 2″ | 3″ | 3.0″ | .78″ |
| 4″ | O 形环 | 103809 | 4″ | 5″ | 3.0″ | .78″ |
| 4″ | 硬质 | 103952 | 4″ | 5″ | 3.0″ | .78″ |
| 4 英寸（大流量） | O 形环 | 104602 | 4″ | 5″ | 4.0″ | 1.43″ |
| 4 英寸（大流量） | 硬质 | 104683 | 4″ | 5″ | 4.0″ | 1.43″ |
Filter by:
| 物品 | 直径 | 座椅类型 | 开放式方法 | 关闭方法 | 材料 | O 形环 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| QD-104520-POL-E-1 | 2 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104520-POL-E-2 | 2 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104520-POL-V-1 | 2 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-104520-POL-V-2 | 2 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-104520-PVDF-E-1 | 2 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104520-PVDF-E-2 | 2 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104520-PVDF-V-1 | 2 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-104520-PVDF-V-2 | 2 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-103809-POL-E-1 | 4 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-103809-POL-E-2 | 4 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-103809-POL-V-1 | 4 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-103809-POL-V-2 | 4 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-103809-PVDF-E-1 | 4 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-103809-PVDF-E-2 | 4 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-103809-PVDF-V-1 | 4 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-103809-PVDF-V-2 | 4 英寸 | O 形环座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-104602-POL-E-1 | 4 英寸 | O 形圈大流量阀座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104602-POL-E-2 | 4 英寸 | O 形圈大流量阀座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104602-POL-V-1 | 4 英寸 | O 形圈大流量阀座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-104602-POL-V-2 | 4 英寸 | O 形圈大流量阀座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-104602-PVDF-E-1 | 4 英寸 | O 形圈大流量阀座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104602-PVDF-E-2 | 4 英寸 | O 形圈大流量阀座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104602-PVDF-V-1 | 4 英寸 | O 形圈大流量阀座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-104602-PVDF-V-2 | 4 英寸 | O 形圈大流量阀座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-104521-POL-E-1 | 2 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104521-POL-E-2 | 2 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104521-POL-V-1 | 2 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-104521-POL-V-2 | 2 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-104521-PVDF-E-1 | 2 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104521-PVDF-E-2 | 2 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104521-PVDF-V-1 | 2 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-104521-PVDF-V-2 | 2 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-103952-POL-E-1 | 4 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-103952-POL-E-2 | 4 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-103952-POL-V-1 | 4 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-103952-POL-V-2 | 4 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-103952-PVDF-E-1 | 4 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-103952-PVDF-E-2 | 4 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-103952-PVDF-V-1 | 4 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-103952-PVDF-V-2 | 4 英寸 | 硬座 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-104683-POL-E-1 | 4 英寸 | 硬质高流量座椅 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104683-POL-E-2 | 4 英寸 | 硬质高流量座椅 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104683-POL-V-1 | 4 英寸 | 硬质高流量座椅 | 空中开放 | 春季关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-104683-POL-V-2 | 4 英寸 | 硬质高流量座椅 | 空中开放 | 空中关闭 | Polypro | 氟橡胶 |
| QD-104683-PVDF-E-1 | 4 英寸 | 硬质高流量座椅 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104683-PVDF-E-2 | 4 英寸 | 硬质高流量座椅 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 三元乙丙橡胶 |
| QD-104683-PVDF-V-1 | 4 英寸 | 硬质高流量座椅 | 空中开放 | 春季关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
| QD-104683-PVDF-V-2 | 4 英寸 | 硬质高流量座椅 | 空中开放 | 空中关闭 | PVDF | 氟橡胶 |
*O 形圈座材料与本体相同 O 形圈类型。 硬座材料与结构材料相同。
快速倾倒漂洗在半导体制造中的重要性
在对半导体晶片进行清洗、蚀刻或剥离等化学处理，或对微机电系统设备进行 KOH/HF 蚀刻处理后，应将处理过程中的化学物质从表面完全清除，以停止化学反应并带走化学残留物。 化学物质仍然覆盖着晶片表面，特别是在拓扑结构的凹槽内（护城河、沟槽），导致化学过程在熔池外继续进行。 这一点对于蚀刻应用至关重要，因为过蚀刻可能会破坏图案并导致严重的产量损失。 定制塑料罐、PFA 罐是快速倾倒冲洗步骤的常见选择。
有效漂洗工艺的目标：
- 晶圆从熔池中取出后，快速有效地停止表面的化学反应。
- 彻底清除晶圆上的化学残留物和污染物，这些残留物会从化学槽中残留下来，不会对晶圆表面造成任何影响。
- 在进行下一步化学处理或干燥之前，去除晶片上的微粒。
半导体漂洗工艺：
根据工具类型和应用的不同，半导体制造中使用了三种基本漂洗方式。
- 溢流漂洗：将晶片浸入漂洗槽中，水从槽底不断流入，并在槽顶边缘溢出。
- 喷雾冲洗：通过喷嘴以可变流量、压力或温度将超纯水直接喷洒到晶片上，一次通过（单晶片设备的标准工艺）
- 快速倾倒漂洗：上述湿式工作台的组合，包括将晶片放入溢出的漂洗槽中，快速倾倒超纯水，然后通过喷淋和/或从底部填充的方式重新装满漂洗槽。