在化學品輸送過程中去除氣泡
CBA系列的液氣分離器可減少高純度化學品輸送和晶圓加工後所產生的氣泡. 它們具有4英寸內徑，可提供更大的表面積來去除氣泡. 它們可以有各種可連接的管路長度. 它們具有可配置的端口連接和專利的 tongue-and-groove 密封設計.
特點和優點
- 過程安全的PTFE和PFA液體通路
- 最高7公斤（100 psi)壓力
- 最高100°C度
- Chemical delivery and wafer process debubbling
- Tongue和Groove 密封技術是最可靠和可重複使用的
- Extruded PFA pipe with threaded connections offer easy setup and maintenance without welding
- capabilities offer high flow rates for faster processes
- 達6升的型號
CBA Series Debubblers
