White Knight 高純度的液體處理解決

半導體,太陽能,發光二極體(LED),平板顯示器,電子解決方案

White Knight 高純度的產品

泵、閉迴路系統、濕式工藝罐、熱水器系統、設備及配件

White Knight 用於半導體製造的氣驅雙風泵

氣體驅動的雙風囊泵

有PTFE和PFA液體通道的高純度氣動風囊泵。 可靠、無洩漏泵提供高流率、穩定的壓力和穩定的溫度。 Th不含金屬、橡膠O型圈、葉輪或電動機。 可以將管路內的液體打空並且提供較高的吸液高度。

氣體驅動的雙風囊泵
White Knight 使用磁懸浮葉輪離心泵

磁懸浮離心泵

PCA300 離心泵具有磁懸浮葉輪,其旋轉獨立於其穩定功能。 該泵提供連續、穩定的流量,沒有壓力脈動。 使用 PTFE / PFA 作為接液部件材料,是超高純度濕製程應用的理想選擇。 通過電子調節進行精確控制葉輪速度。

磁懸浮離心泵
White Knight AODD 高純度的氣體驅動的雙風囊泵

氣體驅動的雙膜片泵

PSD系列氣動雙隔膜(AODD)泵提供液體接觸部分格料為PTFE或UHMW (PE)。非常適合用於腐蝕性的或有毒的液體如酸、燃油、膠水、油漆、樹脂、油墨、或廢水處理。

氣體驅動的雙膜片泵
White Knight Metering Pumps for Chemical Dispense

計量泵

White Knight 氣動和電動計量泵,每次供應分別人100ml和50ml。 使用PTFE活動的膜片、較高的出口壓力可以安全可靠的輸送化學品。泵是在高純度化學品的精確分配補充,混合,計量等應用,以及清洗CVD設備和光刻。

計量泵
White Knight PPMC 微型泵用于半导体制造

微型泵

微型泵 能夠達到300毫升/分鐘的流速和160 psi 排放壓力。液體路徑全PTFE和PFA結構,可以任意位置安裝。電磁閥啟動每個吸入和排出。

微型泵
CBA液氣分離器在化學品輸送過程中去除氣泡

液氣分離器

的液氣分離器可減少高純度化學品輸送和晶圓加工後所產生的氣泡. 它們具有4英寸內徑,可提供更大的表面積來去除氣泡. 它們可以有各種可連接的管路長度.

液氣分離器
White Knight High-Purity Back-Pressure Regulators

調壓閥

自動維護和準確的系統壓力控制為閉迴路回路或多系統滴液或點分佈而無需額外的電路或回饋。全PTFE液的路徑。 最高在100°C和7公斤(100 psi)。

調壓閥
White Knight Non-Metalic High-Purity Filter Housings

過濾器外殼

普遍的、緊湊的、多腔濾波器外殼適用于高純度度化學品。 雙連和四連過濾器外殼有平行或線上型號。

過濾器外殼
White Knight 高純度閉迴路系統

高純度閉迴路系統

自動保持層流或穩定的壓力與金屬的閉迴路控制系統提供穩定的溫度、死的頭和吸入器的提升。

控制您的高純度化學品製程和供應系統。 簡化流程自動化,以節省時間,資源和降低成本。

  • 最高流量140升每分鐘
  • 最高7公斤(100 psi)壓力
  • 最高210°C度
  • 保持穩定的溫度
  • 不含金屬、無腐蝕,消除了潛在的污染
  • 無橡膠O形圈、不漏水、無需緊固
  • 無電機、無發熱
  • 無葉輪、無微泡
高純度閉迴路系統

濕式工藝罐

Global Standard for Static and Recirculating Processes

Accubath Heated Quartz Process Tank Silicon Nitride Etch

Accubath® 加熱的石英濕式工藝罐

Accubath® 加熱的石英濕式工藝罐 processes for quartz-compatible chemistries up to 190°C…

加熱的石英濕式工藝罐
Accubath PVDF QDR Process Tank

Accubath® PTFE, PVDF, PFA, NPP 濕式工藝罐

Accubath® PTFE, PVDF, PFA, NPP 濕式工藝罐 minimize welding and seams to reduce particles…

高純度濕式工藝罐
Accubath Stainless Steel Recirculating Heated Tank

Accubath® 加熱的不銹鋼濕式工藝罐

Accubath® 加熱的不銹鋼濕式工藝罐 for reliable and safe performance in static and recirculating systems…

加熱的不銹鋼濕式工藝罐
Accubath XE-Lab System Wet Etch Bath

Accubath® 高溫藍寶石濕蝕刻處理罐

Accubath® 高溫藍寶石濕蝕刻處理罐 safely and reliably heat chemistries up to 300°C…

高溫藍寶石濕蝕刻處理罐
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems PVDF Quick Dump
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Quartz Recirculating
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Stainless Steel

PVDF、石英、或不銹鋼 Megasonic 系統

Accumeg® Megasonic Cleaning Tanks & Systems

Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank

Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals

  • Reliable components
  • Extensive 36 month warranty
  • Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
  • High watt density
  • Operates at 70°C+
  • Field replaceable transducer arrays
Accumeg® Megasonic 系統

White Knight 熱水器系統

用於超純流體和氣體的加熱器

Accuheat PFA In-Line Chemical Heaters

Accuheat® PFA 化學品直列式流體加熱器

Accuheat® PFA 化學品直列式流體加熱器 are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…

PFA 化學品直列式流體加熱器
Accuheat Quartz In-Line Chemical Heaters Dual Tube 12000 Watts

Accuheat® 石英化學品直列式流體加熱器

Accuheat® 石英化學品直列式流體加熱器 consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…

石英化學品直列式流體加熱器
Accuheat PFA In-Line Solvent Heaters

Accuheat® PFA 直列式溶劑加熱器

Accuheat® PFA in-line solvent heaters are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…

PFA 直列式溶劑加熱器
Accuheat Quartz In-Line Gas Heaters

Accuheat® 石英 Gas 直列式加熱器

Accuheat® 石英 Gas 直列式加熱器 for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…

石英 Gas 直列式加熱器
Heateflex Aquarius Deionized (DI) Water Heater Systems

Aquarius® 去離子熱水器系統

Aquarius® 去離子(DI)熱水器系統 are the perfect solution for high-purity heating applications that…

Aquarius® 加熱器
Heateflex HC PFA超純內聯流體加熱器

PFA超純內聯流體加熱器

HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…

PFA 加熱器
Heateflex LH1 PVDF PFA 超純內聯流體加熱器

PVDF/PFA超純內聯流體加熱器

PVDF/PFA超純內聯流體加熱器 ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…

PVDF/PFA 加熱器
Heateflex Vesper PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…

Vesper™ 熱交換器
Heateflex PFA Immersion Tank Grid Heaters

PFA浸入式水箱加熱器

PFA 浸入式水箱加熱器 are great for heating fluid baths to a constant temperature. The tank heaters…

PFA 水箱加熱器
Heateflex 不銹鋼 N2 加熱器

不銹鋼N2加熱器

不銹鋼N2加熱器 are for high-purity wafer drying and parts cleaning. Heateflex 不銹鋼N2加熱器 are suitable for nitrogen,…

不銹鋼N2加熱器
Heateflex 用於超純流體和氣體的加熱器

流體和氣體的加熱器

White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water, chemicals, gases, and solvents.

White Knight 流體和氣體的加熱器
White Knight Heateflex Imtec 舊型號的加熱器

舊型號的加熱器

Discontinued heaters systems include: Aries Solvent Heaters, Fluidix® Steam-Powered DIW Heaters, Poseidon™ Stainless Steel Heaters, SX Stainless Steel Heaters, Demeter™ Systems…

舊型號的加熱器