兩個泵對過濾器保持性的影響

Pulsation intensity:

快速反應的壓力和流量感測器被安裝在泵的下游用於量化的評估壓力及流動脈衝。 Entegris 型號為 4100 單埠壓力感測器(0-60 psig)被用於量化大規模的壓力脈動。 Futurestar的FM 3103 – PS XP / F ( 0-50 lpm )流量計被用於量化大量的流量的脈動。 在1000Hz的收集壓力和流量測量值。 在每個測試的狀態下資料收集和分析超過一分鐘的間隔。

過濾器固定測量:

圖1給出了測試系統的示意圖。循環泵是用來提供一個連續的低顆粒飼料（神秘；1.0/ml≥0.05μm）去離子水對泵的評價。

兩個光學粒子計數器是用於這一評價:粒子測量系統HSLIS M 50粒子監控器和粒子測量系統LiQuilaz S 05液體顆粒計數器。 在M50有四個大小通道和測量顆粒從≥0.05，≥0.10，≥0.15，或0.20≥微米。 LiQuilaz S05有15個通道從≥0.5到≥20μm。

過濾器固定測量結果由噴射PSL到泵的上游流量進行評估。 PSL解決方案包括溶液由顆粒尺寸範圍從73到直徑為400nm。 在流量範圍從5到10加侖的條件下，進行了微粒值的測量。 微粒濃度監測儀在過濾器的進出口監測每個粒子注入。 此外,上下游的背底量測之前和之後的每個粒子噴射測試,以確保該粒子的濃度足夠低迎接挑戰。 WO 10″0.05μM mykrolis進行ATM過濾器平行排列，這期間保持評估。 過濾器的表面速度是0.5-1.0 cm/min，取決於測試流量。 這對於每一個泵在每個粒子的大小計算挑戰的保留效率。

在這份報告中,過濾器保持資料表示為過濾減量值。 LRV是被規定:

• LRV = log10 ((CI – CBI)/ (CO – CBO))

where:

• C1=在微粒子注入時位於過濾器進口的粒子濃度
• CBI=在微粒子注入後位於過濾器進口的環境粒子濃度
• CO=在顆粒噴射時過濾器出口的顆粒濃度
• CBO=在微粒子注入後位於過濾器出口的環境粒子濃度

LRV和過濾保持效率之間的關係如表一所示.

脈衝強度:

圖2至4顯示的數位表示在大壓力和流量脈動下每種類型的泵的分別大約是5、7.5和10加侖/分。 分析壓力和流量的資料會在表格二上顯示。 相對標準差（RSD）是在每個測試條件下的每個泵一分鐘測試間隔計算。

White Knight 泵和 Levitronix 的流量、脈動的對較低和幾乎相同的。 脈衝的大小隨流量的減小而減小.

測得的壓力脈動是至少10倍高於測量的流量脈動，無論泵的或流速。 這可能會影響流量計，使流計量不是會第一時間反應出流量的變化。 5GPM每個泵的測量的脈衝大小類似. 但是,由於流量增加，壓力脈衝對 White Knight 泵是增加的，對 Levitronix 的泵是減少的如圖5所示。

過濾器固定測量:

表III和圖6示出了過濾器保留測量每個泵作為顆粒尺寸的結果和流速。 圖7 顯示每個泵的過濾器固定測量的功能區的在這項研究中壓力測量量化RSD。 本測試方法的最大可檢測LRV為4，或99.99％的過濾器固持。 73至400納米的PSL粒子的由0:05微米快速轉換的ATM盒被發現是大於4的LRV與流量範圍為5至10加侖雙泵的保留。 過濾器保留對這些泵沒有明顯的影響。 73納米PSL尺寸最小檢測PSL尺寸的測量系統HSLIS M50顆粒顯示器能夠有效地檢測。