전기식 정량 펌프
PEM050 전기식 스테퍼 펌프는 케미칼 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 (응용)작업을 PTFE 유체 경로에서 부식성 매체를 정확하게 1 에서 50 ml 토출. 이 신뢰할 수 있는 비 금속 펌프는 자석이나 임펠러가 없는 PTFE 및 PFA 유체경로가 특징입니다. Positive 컨트롤 벨브는 체크 벨브의 전형적인 가변성을 제거함으로써 정확도를 보장합니다. 펌프의 5개 충전 포트는 프로그램 작동이 가능한 시스템 논리에 의해 독립적으로 제어가 가능합니다.
- 전기적으로 제어된 조절가능한 스트로크
- 토출량 : 50 ml 까지
- 고정밀도 ; ± 0.01% 재현성
- 60 – 80 psi 공급 범위
- 프로그램 변경식 시스템 로직
- 2~6 포트 구성
공압식 정량 펌프
PPM100 공압 정량 펌프는 PTFE 유체 경로로 고순도 케미칼을 100 ml 까지 정확하게 토출. 이 신뢰할 수 있는 비 금속 펌프는 자석이나 임펠러가 없는 PTFE 및 PFA 유체경로가 특징입니다. Positive 컨트롤 벨브는 체크 벨브의 전형적인 가변성을 제거함으로써 정확도를 보장합니다.
- 충분히 조절가능한 스트로크 속도
- 토출량 : 100 ml 까지/li>
- 고정밀도 ; ± 0.1% 재현성
- 60 – 85 psi 공급 범위
개요
White Knight 사 정량 펌프는 정확한 화학 혼합물을 얻기위하여 매엽식 공정 장비나 사전 혼합 베셀에서 조절가능한 유량을 제공 하거나 상부에서 직접 인라인 ( in-situ ) 믹싱을 허용. 펌프는 포토리소그래피 (광식각공정) 나 세정 CVD 장치 뿐만 아니라 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 (응용)작업에서 고순도 케미칼을 정확하게 토출. 감광액, 식각 및 세정 공정, Piranha 혼합에서 과산화수소 소량첨가, 기판의 도입전에 공정 탱크내 케미칼 혼합물의 다른 혼합에 이상적.
기능 및 이점
- 충분히 조절 가능한 행정 속도
- 유지 보수가 없는 안전하고 누수 없는 작동
- 노출된 금속이 없기 때문에 부식과 오염을 방지
- 초 고순수 적용 분야를 위한 PTFE 전체-곡선형 유체 경로
- PTFE 롤링 다이아프램 과 PP 하우징
- 쉬운 설치작업 과 관찰을 위한 시각적으로 위치 참조
- Snap-in/out 고정으로 쉬운 설치 및 서비스
- 어느 방향으로도 설치 가능
- 크린룸에서 조립, 테스트 및 포장
- 누수 감지 포트
- 자체 시동(기동)
- 작은설치면적
- 최소 정체 용량
- Inlet/outlet 벨브는 유체 흐름 제어
사양서
| 토출 범위 | 1-50 ml per stroke |
10-100 ml per stroke |
| 토출 재현성 | ± 0.01% (Full Scale) |
± 0.1% (Full Scale) |
| 분당 회전수 | ≤ 6 CPM |
≤ 12 CPM |
| 공기 소비량 회전당 SCFM | 1-3 SCFM |
0.038-0.048 SCFM |
| 유체 경로 재질 | PTFE |
PTFE |
| 밸브 작동 공압 | 4.14-5.52 Bar (60-80 psi) |
4.14-5.86 Bar (60-85 psi) |
| 최대 토출 압력 | 3.8 Bar (55 psi) |
5.86 Bar (85 psi) |
| 온도 | ≤ 100°C (212°F) |
≤ 100°C (212°F) |
| 통신 | 2.95 kg (6.5 lb) |
1.6 kg (3.5 lb) |
| 흡입 양정* | 4.6 m (15 ft) |
4.6 m (15 ft) |
| 통신 | Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA) |
- |
| 누수 감지 옵션 | Valve Position Sensing |
Valve Position Sensing |
*흡입 양정 는 시간이 지남에 따라 감소합니다. 원천으로 부터 4.6 m (15 ft) 이내의 설치 레벨을 추천함.
**최적화된 파라미터로 재현성 향상 (up to ± 0.01%). 최소한의 흡입 양정은 재현성을 극대화. 상온에서 물로 실시한 테스트. 최대/최소 공압인 80 psi 과 60 psi 일때 전체 행정에서 측정한 토출 범위. 자세한 사항은 White Knight 사 또는 지역 대리점 에 연락.
치수
A |
B |
|
|---|---|---|
| PEM050-02 | [69] 2.7 |
[279] 11.0 |
| PEM050-03 | [107] 4.2 |
[318] 12.5 |
| PEM050-04 | [107] 4.2 |
[318] 12.5 |
| PEM050-05 | [145] 5.7 |
[356] 14.0 |
| PEM050-06 | [145] 5.7 |
[356] 14.0 |
PEM050 치수 다운로드 (PDF)
