고순도 정량 펌프

수동 및 스테퍼-제어 토출 펌프

White Knight PEM050 Electronic Metering Pumps

전기식 정량 펌프

PEM050 전기식 스테퍼 펌프는 케미칼 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 (응용)작업을 Teflon® PTFE 유체 경로에서 부식성 매체를 정확하게 1 에서 50 ml 토출. 이 신뢰할 수 있는 비 금속 펌프는 자석이나 임펠러가 없는 Teflon® PTFE 및 PFA 유체경로가 특징입니다. Positive 컨트롤 벨브는 체크 벨브의 전형적인 가변성을 제거함으로써 정확도를 보장합니다. 펌프의 5개 충전 포트는 프로그램 작동이 가능한 시스템 논리에 의해 독립적으로 제어가 가능합니다.

  • 전기적으로 제어된 조절가능한 스트로크
  • 토출량 : 50 ml 까지
  • 고정밀도 ; ± 0.01% 재현성
  • 60 – 80 psi 공급 범위
  • 프로그램 변경식 시스템 로직
  • 2~6 포트 구성
PEM050 사양 시트
White Knight PPM100 Pneumatic Metering Pumps

공압식 정량 펌프

PPM100 공압 정량 펌프는 Teflon® PTFE 유체 경로로 고순도 케미칼을 100 ml 까지 정확하게 토출. 이 신뢰할 수 있는 비 금속 펌프는 자석이나 임펠러가 없는 Teflon® PTFE 및 PFA 유체경로가 특징입니다. Positive 컨트롤 벨브는 체크 벨브의 전형적인 가변성을 제거함으로써 정확도를 보장합니다.

  • 충분히 조절가능한 스트로크 속도
  • 토출량 : 100 ml 까지/li>
  • 고정밀도 ; ± 0.1% 재현성
  • 60 – 85 psi 공급 범위
PPM100 사양 시트

매뉴얼

PEM050 매뉴얼PPM100 매뉴얼

분해도

PEM050 분해도PPM100 분해도

CAD 도면

PPM100 CAD 도면

주문 지침

PEM050 주문 지침PPM100 주문 지침
견적 요청대리점 위치 및 연락처
White Knight 초순수 테플론 PTFE 재질의 펌프
White Knight 최대 100C까지 작동 가능한 반도체 펌프
White Knight 1 년 품질 보증 최대 500,000 사이클
CE 인증

PEM 운전

개요

White Knight 사 정량 펌프는 정확한 화학 혼합물을 얻기위하여 매엽식 공정 장비나 사전 혼합 베셀에서 조절가능한 유량을 제공 하거나 상부에서 직접 인라인 ( in-situ ) 믹싱을 허용. 펌프는 포토리소그래피 (광식각공정) 나 세정 CVD 장치 뿐만 아니라 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 (응용)작업에서 고순도 케미칼을 정확하게 토출. 감광액, 식각 및 세정 공정, Piranha 혼합에서 과산화수소 소량첨가, 기판의 도입전에 공정 탱크내 케미칼 혼합물의 다른 혼합에 이상적.

기능 및 이점

  • 충분히 조절 가능한 행정 속도
  • 유지 보수가 없는 안전하고 누수 없는 작동
  • 노출된 금속이 없기 때문에 부식과 오염을 방지
  • 초 고순수 적용 분야를 위한 Teflon® PTFE 전체-곡선형 유체 경로
  • Teflon® PTFE 롤링 다이아프램 과 PP 하우징
  • 쉬운 설치작업 과 관찰을 위한 시각적으로 위치 참조
  • Snap-in/out 고정으로 쉬운 설치 및 서비스
  • 어느 방향으로도 설치 가능
  • 크린룸에서 조립, 테스트 및 포장
  • 누수 감지 포트
  • 자체 시동(기동)
  • 작은설치면적
  • 최소 정체 용량
  • Inlet/outlet 벨브는 유체 흐름 제어

사양서

 
토출 범위
1-50 ml per stroke
10-100 ml per stroke
토출 재현성
± 0.01% (Full Scale)
± 0.1% (Full Scale)
분당 회전수
≤ 6 CPM
≤ 12 CPM
공기 소비량 회전당 SCFM
1-3 SCFM
0.038-0.048 SCFM
유체 경로 재질
PTFE
PTFE
밸브 작동 공압
4.14-5.86 Bar
(60-85 psi)
4.14-5.86 Bar
(60-85 psi)
최대 토출 압력
5.51 Bar
(80 psi)
5.86 Bar
(85 psi)
온도
≤ 100°C
(212°F)
≤ 100°C
(212°F)
통신
1.6 kg
(3.5 lb)
1.6 kg
(3.5 lb)
흡입 양정*
4.6 m
(15 ft)
4.6 m
(15 ft)
통신
Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
-
누수 감지 옵션
Valve Position Sensing
Valve Position Sensing
 

*흡입 양정 는 시간이 지남에 따라 감소합니다. 원천으로 부터 4.6 m (15 ft) 이내의 설치 레벨을 추천함.
**최적화된 파라미터로 재현성 향상 (up to ± 0.01%). 최소한의 흡입 양정은 재현성을 극대화. 상온에서 물로 실시한 테스트. 최대/최소 공압인 80 psi 과 60 psi 일때 전체 행정에서 측정한 토출 범위. 자세한 사항은 White Knight 사 또는 지역 대리점 에 연락.

치수

 
A
B
PEM050-02
[69] 2.7
[279] 11.0
PEM050-03
[107] 4.2
[318] 12.5
PEM050-04
[107] 4.2
[318] 12.5
PEM050-05
[145] 5.7
[356] 14.0
PEM050-06
[145] 5.7
[356] 14.0
PEM050 치수 다운로드 (PDF)
PPM100 치수 다운로드 (PDF)

PEM 구성

Different Port Fittings

Configuration:

Notes: Default/1A Port options define all ports unless different port fittings are selected.

Standard communication is Serial RS422. Option H1 is only available with E3 or E4 Turck connector Electrical Connection. H1 cable length matches the selected E3 or E4 cable length. Option H2 only available with E4.

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PPM 구성

Configuration:

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견적 요청대리점 위치 및 연락처