고순도 정량 펌프

수동 및 스테퍼-제어 토출 펌프

White Knight PEM050 Electronic Metering Pumps

전기식 정량 펌프

PEM050 전기식 스테퍼 펌프는 케미칼 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 (응용)작업을 Teflon® PTFE 유체 경로에서 부식성 매체를 정확하게 1 에서 50 ml 토출. 이 신뢰할 수 있는 비 금속 펌프는 자석이나 임펠러가 없는 Teflon® PTFE 및 PFA 유체경로가 특징입니다. Positive 컨트롤 벨브는 체크 벨브의 전형적인 가변성을 제거함으로써 정확도를 보장합니다. 펌프의 5개 충전 포트는 프로그램 작동이 가능한 시스템 논리에 의해 독립적으로 제어가 가능합니다.

  • 전기적으로 제어된 조절가능한 스트로크
  • 토출량 : 50 ml 까지
  • 고정밀도 ; ± 0.01% 재현성
  • 60 – 80 psi 공급 범위
  • 프로그램 변경식 시스템 로직
  • 2~6 포트 구성
PEM050 사양 시트
White Knight PPM100 Pneumatic Metering Pumps

공압식 정량 펌프

PPM100 공압 정량 펌프는 Teflon® PTFE 유체 경로로 고순도 케미칼을 100 ml 까지 정확하게 토출. 이 신뢰할 수 있는 비 금속 펌프는 자석이나 임펠러가 없는 Teflon® PTFE 및 PFA 유체경로가 특징입니다. Positive 컨트롤 벨브는 체크 벨브의 전형적인 가변성을 제거함으로써 정확도를 보장합니다.

  • 충분히 조절가능한 스트로크 속도
  • 토출량 : 100 ml 까지/li>
  • 고정밀도 ; ± 0.1% 재현성
  • 60 – 85 psi 공급 범위
PPM100 사양 시트

매뉴얼

PEM050 매뉴얼PPM100 매뉴얼

분해도

PEM050 분해도PPM100 분해도

CAD 도면

PPM100 CAD 도면

주문 지침

PEM050 주문 지침PPM100 주문 지침
견적 요청대리점 위치 및 연락처
White Knight 초순수 테플론 PTFE 재질의 펌프
White Knight 최대 100C까지 작동 가능한 반도체 펌프
White Knight 1 년 품질 보증 최대 500,000 사이클
CE 인증

PEM 운전

개요

White Knight 사 정량 펌프는 정확한 화학 혼합물을 얻기위하여 매엽식 공정 장비나 사전 혼합 베셀에서 조절가능한 유량을 제공 하거나 상부에서 직접 인라인 ( in-situ ) 믹싱을 허용. 펌프는 포토리소그래피 (광식각공정) 나 세정 CVD 장치 뿐만 아니라 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 (응용)작업에서 고순도 케미칼을 정확하게 토출. 감광액, 식각 및 세정 공정, Piranha 혼합에서 과산화수소 소량첨가, 기판의 도입전에 공정 탱크내 케미칼 혼합물의 다른 혼합에 이상적.

기능 및 이점

  • 충분히 조절 가능한 행정 속도
  • 유지 보수가 없는 안전하고 누수 없는 작동
  • 노출된 금속이 없기 때문에 부식과 오염을 방지
  • 초 고순수 적용 분야를 위한 Teflon® PTFE 전체-곡선형 유체 경로
  • Teflon® PTFE 롤링 다이아프램 과 PP 하우징
  • 쉬운 설치작업 과 관찰을 위한 시각적으로 위치 참조
  • Snap-in/out 고정으로 쉬운 설치 및 서비스
  • 어느 방향으로도 설치 가능
  • 크린룸에서 조립, 테스트 및 포장
  • 누수 감지 포트
  • 자체 시동(기동)
  • 작은설치면적
  • 최소 정체 용량
  • Inlet/outlet 벨브는 유체 흐름 제어

사양서

 
토출 범위
1-50 ml per stroke
10-100 ml per stroke
토출 재현성
± 0.01% (Full Scale)
± 0.1% (Full Scale)
분당 회전수
≤ 6 CPM
≤ 12 CPM
공기 소비량 회전당 SCFM
1-3 SCFM
0.038-0.048 SCFM
유체 경로 재질
PTFE
PTFE
밸브 작동 공압
4.14-5.86 Bar
(60-85 psi)
4.14-5.86 Bar
(60-85 psi)
최대 토출 압력
5.51 Bar
(80 psi)
5.86 Bar
(85 psi)
온도
≤ 100°C
(212°F)
≤ 100°C
(212°F)
통신
1.6 kg
(3.5 lb)
1.6 kg
(3.5 lb)
흡입 양정*
4.6 m
(15 ft)
4.6 m
(15 ft)
통신
Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
-
누수 감지 옵션
Valve Position Sensing
Valve Position Sensing
 

*흡입 양정 는 시간이 지남에 따라 감소합니다. 원천으로 부터 4.6 m (15 ft) 이내의 설치 레벨을 추천함.
**최적화된 파라미터로 재현성 향상 (up to ± 0.01%). 최소한의 흡입 양정은 재현성을 극대화. 상온에서 물로 실시한 테스트. 최대/최소 공압인 80 psi 과 60 psi 일때 전체 행정에서 측정한 토출 범위. 자세한 사항은 White Knight 사 또는 지역 대리점 에 연락.

치수

 
A
B
PEM050-02
[69] 2.7
[279] 11.0
PEM050-03
[107] 4.2
[318] 12.5
PEM050-04
[107] 4.2
[318] 12.5
PEM050-05
[145] 5.7
[356] 14.0
PEM050-06
[145] 5.7
[356] 14.0
PEM050 치수 다운로드 (PDF)
PPM100 치수 다운로드 (PDF)

PEM 구성

PPM 구성

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