高純度 定量ポンプ

マニュアル及びステッパ制御供給ポンプ

White Knight PEM050 Electronic Metering Pumps

電子定量ポンプ

PEM050 電子定量ポンプは、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入用途向けに、Teflon® PTFE流路内に1-50 mlの腐食媒体を正確に供給します。 これらの高信頼性ポンプは、吐出圧力を最大限に高める完璧にサポートされたローリングダイヤフラムを特長としています。正の制御バルブはチェックバルブに特有であるばらつきを解消することによって精度を保証します。PEM050ポンプは、プログラマブル・システム・ロジックで個別に制御可能な最大5つのポートを提供します。

  • 電子制御で調節可能なストローク
  • 最大50 mlの供給容量
  • 最高±0.01%の再現性を持つ高精度ポンプ
  • 吐出能力60 – 80 psi
  • プログラマブル・システム・ロジック
  • 2ポートから6ポートで構成可能
PEM050 仕様書
White Knight PPM100 Pneumatic Metering Pumps

空圧ポンプ

PPM100 空圧定量ポンプは、最高100 mlの高純度薬品をTeflon® PTFE流路で正確に供給します。 は、完璧にサポートされたローリングダイヤフラムで動作し、吐出圧力機能を最大限に向上させます。 2つのポジティブ・コントロール・バルブが、チェックバルブに典型的なばらつきを解消し精度を保証しています。

  • マニュアルで調整可能なストローク
  • 最大100 mlの供給容量
  • 最高±0.1%の再現性を持つ高精度ポンプ
  • 吐出能力60 – 85 psi
PPM100 仕様書

オーナーマニュアル

PEM050 オーナーマニュアルPPM100 オーナーマニュアル

分解図

PEM050 展開図PPM100 展開図

CADモデル

PPM100 モデル

御注文手順

PEM050 御注文手順PPM100 御注文手順
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高純度
最高温度100℃
1年間保証
CEマーキング

PEM 動作

概要

White Knightの定量ポンプは、枚様式プロセス装置や予混合槽内で使用できるよう調節可能な流量を提供し、ヘッドでの現場(in-situ)混合を可能にしています。これらのポンプは、補充、ブレンド、添加、及び混入用途向けだけでなくCVD装置の洗浄やフォトリソグラフィ向けに、高純度薬品を正確に供給することができます。これらは、基板導入に先立ち、フォトレジスト、エッチング及びクリーニングプロセス、ピラニア混合物内への過酸化物添加、及びその他の薬品混合物をプロセスタンクにブレンドする用途に理想的です。

特長とメリット

  • 自由に調整可能なストローク速度
  • 保守が不要な安全でリークのない動作
  • 腐食や汚染の原因となる露出金属を使用していません
  • 高純度薬品向けに完璧に清掃されたTeflon® PTFE流路
  • PPハウジング付きTeflon® PTFEローリングダイヤフラム
  • 容易なセットアップとモニタリングのための仮想位置基準
  • スナップ着脱式マウントの採用で設置と修理が容易
  • どんな向きでも設置可能
  • クリーンルームでの組み立て、試験、及び梱包
  • リーク検出ポート
  • 自給式
  • 小設置面積
  • 最小限の維持容積
  • 正の入口/出口バルブは流れの通過を防止します

仕様

 
Dispense Range
1 - 50 ml per stroke
10 - 100 ml per stroke
Dispense Repeatability
± 0.01% (Full Scale)
± 0.1% (Full Scale)
Cycles Per Minute
up to 6 CPM
up to 12 CPM
Air Consumption
SCF per Cycle
1-3 SCFM
0.038-0.048 SCFM
Fluid Path Materials
PTFE
PTFE
Valve Actuation
Air Pressure
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
Max Discharge Pressure
5.51 Bar
(80 PSI)
5.86 Bar
(85 PSI)
Temperature Capability
up to 100°C (212°F)
up to 100°C (212°F)
Weight
1.6 KG
3.5 LBS
1.6 KG
3.5 LBS
Suction Lift*
4.6 Meter
15 Feet
4.6 Meter
15 Feet
Communication
Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
-
Leak Detection Options
Valve Position Sensing
Valve Position Sensing
 

*Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 4.6 m (15 ft) above source.
**Optimized parameters can improve repeatability (up to ± 0.01%). Minimize suction lift to maximize repeatability. Tests conducted with water at ambient temperature. Dispense range measured at full stroke with maximum and minimum supply pressures at 80 PSI and 60 PSI. Contact White Knight for details.

寸法

 
"A"
"B"
PEM050-02
2.7 (69)
11.0 (279)
PEM050-03
4.2 (107)
12.5 (318)
PEM050-04
4.2 (107)
12.5 (318)
PEM050-05
5.7 (145)
14.0 (356)
PEM050-06
5.7 (145)
14.0 (356)
PEM050 寸法のダウンロード(PDF)
PPM100 寸法のダウンロード(PDF)

PEM 構成

Different Port Fittings

Configuration:

Notes: Default/1A Port options define all ports unless different port fittings are selected.

Standard communication is Serial RS422. Option H1 is only available with E3 or E4 Turck connector Electrical Connection. H1 cable length matches the selected E3 or E4 cable length. Option H2 only available with E4.

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PPM 構成

Configuration:

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