Aquarius® 탈 이온수 (DIW) 히터

Heateflex Aquarius Deionized (DI) Water Heater Systems

개요

Aquarius® water (DI water, DIW) 히팅 시스템은 정확하고 정밀한 온도 제어를 제공하여 고온 DIW를 이용하며 정속유량이 요구되는 고순도 공정에 이상적인 장치입니다. 본 장치는 초고순도의 Heateflex® 가열 코일, Power-to-Flow™ 제어 시스템 및 그외 다양한 조작자 안전 장치를 갖추고 있습니다. 다양한 출력 옵션을 통해 필요로하는 유량조건과 온도 요건을 충족할 수 있습니다. Aquarius®는 여러개의 히터가 필요한 공정을 단일화 할수있어 운영 비용을 절감합니다.

안전

Aquarius® 에는 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 30mA 의 정격의 첨단 GFCI(Ground Fault Circuit Interrupter) 시스템을 갖추고 있습니다. 단락 전류 정격 (SCCR; Short Circuit Current Rating)은 100,000A입니다. 도어 인터락, EMO 및 GFCI에는 중복 안전 PLC 시스템과 인증받은 NIST써머커플러가 포함되어 있습니다. 마지막으로, 이중 감압 밸브 적용으로 입출력 유량이 단시간에 신속히 토출되는것이 가능합니다.

Power-to-Flow™ Control

Power-to-Flow™ 제어 장치는 single-pass 히팅공정에서 정확한 온도 출력을 제공합니다. 이 제어장치는 장비에 요구되는 적정온도를 벗어나 급격히 올라가거나 떨어지는 요인을 근본적으로 없애줍니다. 정교한 제어 시스템은 공정에서 유량의 변동성을 관리하며multi-loop 능력과 feed-forward기능으로 구성되어 있습니다. 다양한 개별공정에서 유량과 온도를 측정하고 개별 히팅존으로 공급되는 전력을 상황에 맞게 조정합니다.이러한 진보된 통합 시스템은 D.I 워터의 흐름을 적정온도에서 안정적으로 공급해야 하므로 유량의 변이에 신속히 반응합니다.

Aquarius® 브로셔Advantages of Using Hot DIW
Aquarius 시스템 매뉴얼Aquarius 컨트롤러 매뉴얼
Aquarius 시스템 도면
SEMI S2, S3, S8 & UL 인증
Replacing Fuses
견적 요청대리점 위치 및 연락처유체 히터 계산기

기능 및 이점

  • 고순도 PVDF/PFA 습윤표면
  • 고해상도 터치스크린
  • 사용자 편의 인터페이스
  • 플러그 앤 플레이 시스템
  • N2 퍼지 프리

온도 조절

  • 뛰어난 온도 안정성
  • 온도 및 유량 변화 시 신속한 응답
  • 급격한 온도상승 및 강하요소 제거
  • Power-to-Flow™ 제어 기능을 갖춘 PLC가 일정하고 안정적이며 정확한 온도 출력을 제공
  • 이더넷 연결을 통해 히터 데이터를 팹의 SECS/GEM 시스템으로 신속하게 전송 (기타 통신 가능)

안전 설비

  • UL-499, SEMI S2, SEMI S3, CE의 엄격한 요건을 충분히 충족함
  • 100kA 단락 전류 정격
  • 접지 고장 회로 차단기, 정격 30mA 미만
  • GFCI, 열 차단 센서 및 hi-limit 써머커플러에 다중 안전 PLC 모니터링 적용
  • 도어 인터록 스위치 및 EMO에 이중 안전 모니터링 릴레이 적용
  • NIST 인증 써머커플러
  • 입출력단에 유량의 신속한 압력 분산을 위해 이중 감압 밸브 적용
  • 전기 안전 및 DIW 호환성을 위한 접지 옵션

사양서

히터소자
Heateflex® Coil
습윤표면
PVDF/PFA
와트
40-225 kW
(전압에 따라 다름)
전압
200-480 VAC, 3-ph
(와트에 따라 다름)
온도
95º C (203º F)
온도정확성
+/- 0.1º C
(적용공정에 따라 다름)
유량
0.5-32 GPM
(1.9-122 LPM)
압력
60 PSIG @ 95ºC
효율
>99 %

*모든 사양은 구성에 따라 다릅니다.

치수

신장 H x W x D

Model
kW
Low VAC
High VAC
DI-40
40
78 x 24 x 24
78 x 24 x 24
DI-80
80
78 x 32 x 24
78 x 24 x 24
DI-100
100
78 x 39 x 24
78 x 32 x 24
DI-120
120
78 x 39 x 24
78 x 32 x 24
DI-140
140
N/A
78 x 32 x 24
DI-160
160
N/A
78 x 32 x 24
DI-200
200
N/A
78 x 39 x 24
DI-225
225
N/A
78 x 39 x 24
Model
kW
Low VAC
High VAC

*Low VAC: 200-240 VAC, 3-Phase
*High VAC: 380-480 VAC, 3-Phase

구성

  • 록아웃/태그아웃 기능을 갖춘 Fusible Disconnect 차단기
  • 오토퍼지
  • 저항센서
  • 누출 경보(긴급 및 비긴급)
  • Discrete 인터페이스
  • 아날로그 인터페이스
  • 드라이 컨택 인터페이스
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