PEM050 電子式計量泵

White Knight 發佈最小巧的非金屬過濾器外殼可用于高純度度的應用。

White Knight 的電子計量泵PEM050每次最多輸送50ml的高純度度化學品複性性的誤差為±0.01%較高的工作壓力(60-80 psi)。 PTFE液體路徑和支援活動膜片以最大的化學相容性和排放能力。 位置控制閥確保準確性,減少了過程中的脈衝的產生，而其典型代表是單向閥。

PEM050泵可提供多達5個出液口,以程式設計系統÷邏輯獨立控制。

泵提供在單晶片處理工具或預混容器使用，以確保精確的化學混合物，並且允許在原位直接混合調節流速。 他們被設計用於化學補充、混合、計量等環境應用、以及使用在清潔CVD設備和光刻。 他們是理想的光致抗蝕劑，蝕刻和清洗工藝，食人魚過氧化混合物扣球，和之前推出基板化學混合物進入處理槽等混合。

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