White Knight Liquid-Side Shaft in PSA060 High-Purity Pump

White Knight 高纯泵 通过独的有密封方式、不含金属的设计、紧凑的体积、无需润滑等特点满足半导体厂的要求。

通过液体通路中间放置主轴允许很小行程,从而节省了泵在设备和洁净室的空间和成本。 由于液体侧轴被它们泵送液体润滑,该技术还允许 White Knight 提供一个泵绝对没有金属部件和没有外来润滑剂,从而大大降低了化学污染的风险。

作为液相连接轴在泵运行时由液体润滑,长时间的干打(超过30秒)可能对湿面轴和轴密封产生严重的和不可逆转的损害。 White Knight, 这是一种不太理想的情况对于某些应用程序,因此开发的SD版本,其标准的泵。 SD 泵的设计可以在空跑的条件下运行一段时间,没有任何损坏的轴或密封,在一小时的空运行后。