Semiconductor International 賞
ATシリーズポンプは、世界初の金属を全く使用していないPTFE及びPFA製ポンプで、コンスタント又は熱循環アプリケーションにおいて最高210°Cの温度で薬品を分配供給することができます。 これらは、最高温度210℃で薬品を配送し、最高供給空気圧0.4MPa（60 psi）を可能にしています。
ATシリーズポンプは、世界初の金属を全く使用していないPTFE及びPFA製ポンプで、コンスタント又は熱循環アプリケーションにおいて最高210°Cの温度で薬品を分配供給することができます。 これらは、最高温度210℃で薬品を配送し、最高供給空気圧0.4MPa（60 psi）を可能にしています。