White Knight バブル分離器

薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する

概要

CBAシリーズのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。 内径4インチの大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。 必要に応じて分離器の容量を変更することが出来ます。 弊社のtongue-and-groove シール技術を使い様々な継ぎ手を選択可能。 液面検知センサー取り付け可能です。

CBAバブル分離器、薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する
CBAシリーズ仕様書

御注文手順

御見積書の取得現地代理店
2年間保証
高純度
薬液の再循環 薬液の搬送 最高圧力7気圧(100 psi)
最高温度100℃

特長とメリット

  • プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてPTFE及びPFAを使用
  • 最高圧力0.7MPa(100 psi)
  • 最高温度100℃
  • 薬液供給及びウエハープロセスにおいてバブル分離
  • Tongue-and-Grooveシールを使用したリークのない加工設計
  • The PFA tube has threaded connections that simplify installation and maintenance because they do not require welding
  • 高い許容圧力により 高流量を実現しプロセスのスピードを速くすることができます
  • 最高6リットルまで可能なモデル
White Knight バブル分離器 - 薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する

動作

CBAシリーズのバブル分離器は流体の速度を遅く、方向を変える事により容器にバブルを捕捉します。 容器上部へ捕捉されたバブルによって液面が液面下限センサー検知し 容器ベント弁を開にする事により捕捉されたバブルを排出します。 容器ベント弁がオープンになることで容器内液面が液面上限センサー検知し容器ベント弁を閉にする。

寸法

インチ(ミリメートル)単位の寸法

mm (in)AB
1 liter295 (11.6)132 (5.2)
2 liter434 (17.1)272 (10.7)
3 liter572 (22.5)409 (16.1)
4 liter798 (31.4)632 (24.9)
5 liter935 (36.8)772 (30.4)
6 liter1074 (42.3)980 (38.6)

構成

Configuration:

御見積書の取得現地代理店