ベローズポンプ
高純度空圧ダブルベローズポンプは、PTFE及びPFA流路を特長としています。 これらの信頼性の高いリークのないポンプは、高流量、安定した圧力、及び安定した温度を提供します。 これらは、金属、エラストマーOリング、インペラー、及びモータを内蔵していません。 これらは、デッドヘッドに対応し、高吸込揚程で動作可能です。
空圧ダブルベローズ・ポンプ
磁気遠心ポンプ
PCA300の大きな特徴はインペラーが単独に磁気浮上し摺動部なく回転する事です。 本ポンプは電子制御コントロールによりインペラを正確に制御し連続的で脈動のない安定した流体の流れを提供します。また接液部にはPTFE/PFAを使用し高純度プロセスアプリケーションに適合します。Electronics precisely control the impeller speed.
磁気浮上したした遠心ポンプ
高純度閉ループポンプシステム
安定した温度、デッドヘッド、及び吸込揚程を提供する金属を全く使用しない閉ループ制御システムを使用して、ラミナーフローや安定した圧力を自動的に維持します。
White Knightの閉ループシステムは、高純度薬品処理及び配送に完璧な制御を提供しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。
- 最高流量140 lpm
- 最高圧力0.7MPa（100 psi）
- 最高温度210℃
- 安定した温度を維持
- 金属を使用していないので腐食がないため汚染の可能性を解消
- エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
- モータ未使用のため温度上昇なし
- 羽根車を使用していないためマイクロバブル発生なし
高純度閉ループシステム
高純ウェットプロセスタンク
Global Standard for Static and Recirculating Processes
Accubath™ 石英ウェットプロセスタンク
Accubath™ 石英ウェットプロセスタンク processes using quartz-compatible chemistries up to 190°C…
石英ウェットプロセスタンク
Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク
Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク minimize welding and seams to reduce particles…
高純ウェットプロセスタンク
Accubath™ Sapphire ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
Accubath™ サファイアウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク safely and reliably heat chemistries up to 300°C…
ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
PVDF、PFA、または石英メガソニック洗浄装置
Accumeg™ Megasonic メガソニック洗浄装置
Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank
Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals
- Reliable components
- Extensive 36 month warranty
- Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
- High watt density
- Operates at 70°C+
- Field replaceable transducer arrays
Accumeg™ Megasonic メガソニック洗浄装置
Accuheat™ PFA Chemical インラインヒーター
Accuheat™ PFA chemical インラインヒーター are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…
Accuheat® PFA Chemical インラインヒーター
Accuheat™ Chemical 石英インラインヒーター
Accuheat™ chemical 石英インラインヒーター consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…
Accuheat® Chemical 石英インラインヒーター
Accuheat™ PFA インライン溶剤ヒーター
Accuheat™ PFA インライン溶剤ヒーター are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…
Accuheat® PFA インライン溶剤ヒーター
Accuheat™ 石英インライン Gas ヒーター
Accuheat™ 石英インライン Gas ヒーター for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…
Accuheat® 石英インライン Gas ヒーター
Aquarius® 脱イオン（DI）温水器システム
Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…
Aquarius® ヒーター
PFA 超純インライン流体ヒーター
HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…
PFA ヒーター
PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター
PVDF/PFA fluid heaters ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…
PVDF/PFA ヒーター
Vesper™ PVDF PFA 熱交換器
Vesper™ Series of PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…
Vesper™ ヒーター
PFA 液浸タンクヒーター
Heateflex® immersion tank heaters are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…
PFA 液浸タンクヒーター
HX50コンパクトなヒーター
HX50 in-line heaters feature compact 50-mm (2-in) diameter housings for low wattage and low-flow applications where space is limited.
HX50コンパクトなヒーター
超高純度流体およびガス用ヒーター
White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water (DIW), chemicals, gases, and solvents.
流体およびガス用ヒーター
Aquarius® 脱イオン（DI）温水器システム
Aquarius® 脱イオン（DI）温水器システム are the perfect solution for high-purity DI Water heating applications that require highly accurate temperature control. Its Power-to-Flow Control® feature provides one of the most accurate temperature controls available in DI water heating systems, and it eliminates undesirable overshoots or drops in temperature due to inadequate PID controllers. Aquarius® systems are engineered to deliver high flows of continuous, at-temperature, hot DI water.
- Ultra-pure design with PVDF/PFA wetted surfaces
- Programmable logic controller delivers enhanced temperature stability
- No N2 purge required
- Plug-and-play system with fully integrated controls
- High-resolution touch-screen
- Save costs by reducing the need for multiple immersion heaters
Aquarius® 脱イオン（DI）温水器システム