ベローズポンプ
高純度空圧ダブルベローズポンプは、Teflon® PTFE及びPFA流路を特長としています。 これらの信頼性の高いリークのないポンプは、高流量、安定した圧力、及び安定した温度を提供します。 これらは、金属、エラストマーOリング、インペラー、及びモータを内蔵していません。 これらは、デッドヘッドに対応し、高吸込揚程で動作可能です。
空圧ダブルベローズ・ポンプ
ダイヤフラムポンプ
空圧ダブルダイヤフラム（AODD）ポンプは、Teflon® PTFE又はUHMW (PE)耐腐食性流体路を特長としています。 空圧ダブルダイヤフラムポンプは、酸、燃料、接着剤、塗料、樹脂、インク、廃水、食品、化粧品、スラリー等の腐食性又は有毒の液体に使用するのに適しています。 PSBシリーズポンプ は、旧式の薬品配送ポンプにそのまま使用できる交換レトロフィットです。
空圧ダブルダイヤフラムポンプ
IPA Vapor Dryers
Accudry® IPA dryers uses differences between the surface tension of deionized water and isopropyl alcohol (IPA) vapor to ensure fast and effective drying of substrates.
IPA Vapor Dryer
高純度閉ループポンプシステム
安定した温度、デッドヘッド、及び吸込揚程を提供する金属を全く使用しない閉ループ制御システムを使用して、ラミナーフローや安定した圧力を自動的に維持します。
White Knightの閉ループシステムは、高純度薬品処理及び配送に完璧な制御を提供しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。
- 最高流量140 lpm
- 最高圧力0.7MPa（100 psi）
- 最高温度210℃
- 安定した温度を維持
- 金属を使用していないので腐食がないため汚染の可能性を解消
- エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
- モータ未使用のため温度上昇なし
- 羽根車を使用していないためマイクロバブル発生なし
高純度閉ループシステム
高純ウェットプロセスタンク
Global Standard for Static and Recirculating Processes
Accubath® 石英ウェットプロセスタンク
Accubath® 石英ウェットプロセスタンク processes using quartz-compatible chemistries up to 190°C…
石英ウェットプロセスタンク
Accubath® Teflon, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク
Accubath® Teflon, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク minimize welding and seams to reduce particles…
高純ウェットプロセスタンク
Accubath® ステンレス鋼ウェットプロセスタンク
Accubath® ステンレス鋼ウェットプロセスタンク for reliable and safe performance in static and recirculating systems…
SS ウェットプロセスタンク
Accubath® Sapphire ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
Accubath® サファイアウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク safely and reliably heat chemistries up to 300°C…
ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
PVDF、石英、またはステンレス鋼メガソニック洗浄装置
Accumeg® Megasonic メガソニック洗浄装置
Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank
Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals
- Reliable components
- Extensive 36 month warranty
- Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
- High watt density
- Operates at 70°C+
- Field replaceable transducer arrays, components rated > 50,000 hours MTBF
Accumeg® Megasonic メガソニック洗浄装置
Accuheat® PFA インライン薬液ヒーター
Accuheat® PFA インライン薬液ヒーター are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…
PFA 薬液ヒーター
Accuheat® 石英高純度インライン薬液ヒーター
Accuheat® 石英高純度インライン薬液ヒーター consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…
石英高純度薬液ヒーター
Accuheat® PFA インライン溶剤ヒーター
Accuheat® PFA インライン溶剤ヒーター are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…
PFA 溶剤ヒーター
Accuheat® 石英インライン気体ヒーター
Accuheat® 石英インライン気体ヒーター for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…
石英気体ヒーター
Aquarius® 脱イオン（DI）温水器システム
Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications…
Aquarius® ヒーター
Fluidix® 蒸気で動く脱イオン（DI）温水器システム
Fluidix® 蒸気で動く脱イオン（DI）温水器システム offer the semiconductor industry a low-cost alternative to…
Fluidix® ヒーター
PFA 超純インライン流体ヒーター
HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…
PFA ヒーター
PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター
PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…
PVDF/PFA ヒーター
PFA 浸漬タンクヒーター
浸漬タンクヒーター are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…
PFA 浸漬タンクヒーター
Vesper™ PVDF PFA 熱交換器
Vesper™ Series of PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…
Vesper™ ヒーター
Aries 溶剤ヒーター
Aries solvent heaters safely heat thermally-sensitive fluids such as Isopropyl Alcohol (IPA), EKC photoresist remover…
Aries 溶剤ヒーター
White Knight 超高純度流体およびガス用ヒーター
White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water (DIW), chemicals, gases, and solvents.
Heateflex 流体およびガス用ヒーター