White Knight Fluid Handling社製品

高純度ポンプ、閉ループシステム、ヒーター、及び付属品

White Knight High-Purity Pneumatic Bellows Pumps

ベローズポンプ

高純度空圧ダブルベローズポンプは、Teflon® PTFE及びPFA流路を特長としています。 これらの信頼性の高いリークのないポンプは、高流量、安定した圧力、及び安定した温度を提供します。 これらは、金属、エラストマーOリング、インペラー、及びモータを内蔵していません。 これらは、デッドヘッドに対応し、高吸込揚程で動作可能です。

空圧ダブルベローズ・ポンプ
White Knight 高純度空圧ダブルダイヤフラムポンプ

ダイヤフラムポンプ

空圧ダブルダイヤフラム(AODD)ポンプは、Teflon® PTFE又はUHMW (PE)耐腐食性流体路を特長としています。 空圧ダブルダイヤフラムポンプは、酸、燃料、接着剤、塗料、樹脂、インク、廃水、食品、化粧品、スラリー等の腐食性又は有毒の液体に使用するのに適しています。 PSBシリーズポンプ は、旧式の薬品配送ポンプにそのまま使用できる交換レトロフィットです。

空圧ダブルダイヤフラムポンプ
White Knight Metering Pumps for Chemical Dispense

定量ポンプ

White Knight の空圧及び電子定量ポンプは、各々最高100 mlと50 mlで正確に薬品を供給します。 全面的に支持されているTeflon® PTFEローリングダイヤフラムは、圧力機能を最大限に引き上げ、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入で、薬品の安全で確実な供給を保証しています。

定量ポンプ
White Knight PPMCミニポンプ

ミニポンプ

ミニポンプは、最高流量300 ml/分、吐出圧力160 psiで動作可能です。 これらは、Teflon® PTFE及びPFA流路を特長とし、スプリング内蔵チェックバルブによりポンプをいかなる向きにも搭載することができます。

ミニポンプ
White Knight High-Purity Back-Pressure Regulators

圧力レギュレータ

複雑な圧力制御システムも追加する事なく、循環ループ及び複数の供給ポイントの流量管理を自動的に圧力制御する事ができます。これらは、完璧に清掃されたTeflon® PTFE及びPFA流路を特長としています。前方及び背圧レギュレータは遠隔操作。

圧力レギュレータ
CBAバブル分離器、薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する

バブル分離器

White Knightのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてTeflon® PTFE及びPFAを使用。大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。

バブル分離器
White Knight Non-Metalic High-Purity Filter Housings

フィルタハウジング

高純度薬品向けのPTFE及びPFA流路を装備した、汎用性の高いコンパクトなマルチチャンバ・フィルタハウジング。 デュアル及びクアッドボウル・フィルタ・ハウジングは並列又はインライン(直列)モデルで提供可能です。

フィルタハウジング
Accudry IPA Vapor Dryer

IPA Vapor Dryers

Accudry® IPA dryers uses differences between the surface tension of deionized water and isopropyl alcohol (IPA) vapor to ensure fast and effective drying of substrates.

IPA Vapor Dryer
White Knight 閉ループポンプシステム

高純度閉ループポンプシステム

安定した温度、デッドヘッド、及び吸込揚程を提供する金属を全く使用しない閉ループ制御システムを使用して、ラミナーフローや安定した圧力を自動的に維持します。

White Knightの閉ループシステムは、高純度薬品処理及び配送に完璧な制御を提供しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。

  • 最高流量140 lpm
  • 最高圧力0.7MPa(100 psi)
  • 最高温度210℃
  • 安定した温度を維持
  • 金属を使用していないので腐食がないため汚染の可能性を解消
  • エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
  • モータ未使用のため温度上昇なし
  • 羽根車を使用していないためマイクロバブル発生なし
高純度閉ループシステム
Accubath Heated Quartz Process Tank Silicon Nitride Etch

Accubath® 石英ウェットプロセスタンク

Accubath® 石英ウェットプロセスタンク processes using quartz-compatible chemistries up to 190°C…

石英ウェットプロセスタンク
Accubath PVDF QDR Process Tank

Accubath® Teflon, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク

Accubath® Teflon, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク minimize welding and seams to reduce particles…

高純ウェットプロセスタンク
Accubath Stainless Steel Recirculating Heated Tank

Accubath® ステンレス鋼ウェットプロセスタンク

Accubath® ステンレス鋼ウェットプロセスタンク for reliable and safe performance in static and recirculating systems…

SS ウェットプロセスタンク
Accubath XE-Lab System Wet Etch Bath

Accubath® Sapphire ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク

Accubath® サファイアウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク safely and reliably heat chemistries up to 300°C…

ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems PVDF Quick Dump
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Quartz Recirculating
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Stainless Steel

PVDF、石英、またはステンレス鋼メガソニック洗浄装置

Accumeg® Megasonic メガソニック洗浄装置

Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank

Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals

  • Reliable components
  • Extensive 36 month warranty
  • Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
  • High watt density
  • Operates at 70°C+
  • Field replaceable transducer arrays, components rated > 50,000 hours MTBF
Accumeg® Megasonic メガソニック洗浄装置

White Knight ヒーター

超高純度流体およびガス用ヒーター

Accuheat PFA インライン薬液ヒーター

Accuheat® PFA インライン薬液ヒーター

Accuheat® PFA インライン薬液ヒーター are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…

PFA 薬液ヒーター
Accuheat 石英高純度インライン薬液ヒーター Dual Tube 12000 Watts

Accuheat® 石英高純度インライン薬液ヒーター

Accuheat® 石英高純度インライン薬液ヒーター consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…

石英高純度薬液ヒーター
Accuheat PFA インライン溶剤ヒーター

Accuheat® PFA インライン溶剤ヒーター

Accuheat® PFA インライン溶剤ヒーター are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…

PFA 溶剤ヒーター
Accuheat Quartz 石英インライン気体ヒーター

Accuheat® 石英インライン気体ヒーター

Accuheat® 石英インライン気体ヒーター for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…

石英気体ヒーター
Heateflex Aquarius 脱イオン(DI)温水器システム

Aquarius® 脱イオン(DI)温水器システム

Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…

Aquarius® ヒーター
Heateflex Fluidix 蒸気で動脱イオン(DI)温水器システム

Fluidix® 蒸気で動く脱イオン(DI)温水器システム

Fluidix® 蒸気で動く脱イオン(DI)温水器システム offer the semiconductor industry a low-cost alternative to…

Fluidix® ヒーター
Heateflex PVDF PFA 超純インライン流体暖房器

PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター

For semiconductor, solar, MEMS, and other industries that require the most exacting standards of purity…

PVDF/PFA ヒーター
Heateflex Vesper PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ Series of PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…

Vesper™ ヒーター
Heateflex PFA Immersion Tank Grid Heaters

PFA 浸漬タンクヒーター

浸漬タンクヒーター are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…

PFA 浸漬タンクヒーター
Heateflex Poseidon ステンレス鋼超純流体暖房器

Poseidon™ ステンレス鋼超純流体ヒーター

Poseidon™ stainless steel ultra-pure fluid heater systems offer a unique option for manufacturing operations requiring…

Poseidon™ ヒーター
Heateflex True Sanitary インライン流体暖房器

True Sanitary インライン流体ヒーター

True Sanitary インライン流体ヒーター meet the demanding fluid heating applications of semiconductor, medical..

True Sanitary ヒーター
Heateflex N2 ステンレス鋼暖房器

ステンレス鋼 N2 ヒーター

ステンレス鋼 N2 ヒーター are for high-purity wafer drying and parts cleaning. They are suitable for nitrogen, clean dry air (CDA) and other inert gases.

ステンレス鋼 N2 ヒーター
Heateflex Aries 溶剤暖房器

Aries 溶剤ヒーター

Aries solvent heaters safely heat thermally-sensitive fluids such as Isopropyl Alcohol (IPA), EKC photoresist remover…

Aries 溶剤ヒーター
Heateflex 超高純度流体およびガス用暖房器

White Knight 超高純度流体およびガス用ヒーター

White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water (DIW), chemicals, gases, and solvents.

Heateflex 流体およびガス用ヒーター