White Knight Fluid Handling

半導体、太陽電池、発光ダイオード(LED)、フラットパネルディスプレイ、及び電子機器向けソリューション

注目の製品

Heateflex Aquarius-ECO脱イオン(DI)温水器システム

Aquarius-ECO™システム

Conserve ultrapure water and energy by recirculating heated water until it is needed in the process. Increasing needs to conserve water and energy have world’s largest OEMs and Fabs to…

Aquarius-ECO™脱イオン温水器システム

White Knight 高純度製品

ポンプ、バルブ、閉ループシステム、圧力容器、及び付属品

White Knight 高純度ベローズポンプ

ベローズポンプ

高純度空圧ダブルベローズポンプは、PTFE及びPFA流路を特長としています。 これらの信頼性の高いリークのないポンプは、高流量、安定した圧力、及び安定した温度を提供します。 これらは、金属、エラストマーOリング、インペラー、及びモータを内蔵していません。 これらは、デッドヘッドに対応し、高吸込揚程で動作可能です。

空圧ダブルベローズ・ポンプ
White Knight 安定した流れを実現した高純度遠心ポンプ

磁気遠心ポンプ

PCA300の大きな特徴はインペラーが単独に磁気浮上し摺動部なく回転する事です。 本ポンプは電子制御コントロールによりインペラを正確に制御し連続的で脈動のない安定した流体の流れを提供します。また接液部にはPTFE/PFAを使用し高純度プロセスアプリケーションに適合します。Electronics precisely control the impeller speed.

磁気浮上したした遠心ポンプ
White Knight 高純度空圧ダブルダイヤフラムポンプ

ダイヤフラムポンプ

空圧ダブルダイヤフラム(AODD)ポンプは、PTFE又はUHMW (PE)耐腐食性流体路を特長としています。 空圧ダブルダイヤフラムポンプは、酸、燃料、接着剤、塗料、樹脂、インク、廃水、食品、化粧品、スラリー等の腐食性又は有毒の液体に使用するのに適しています。

空圧ダブルダイヤフラムポンプ
White Knight Metering Pumps for Chemical Dispense

定量ポンプ

White Knight の空圧及び電子定量ポンプは、各々最高100 mlと50 mlで正確に薬品を供給します。 全面的に支持されているPTFEローリングダイヤフラムは、圧力機能を最大限に引き上げ、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入で、薬品の安全で確実な供給を保証しています。

定量ポンプ
White Knight PPMCミニポンプ

ミニポンプ

ミニポンプは、最高流量300 ml/分、吐出圧力160 psiで動作可能です。 これらは、PTFE及びPFA流路を特長とし、スプリング内蔵チェックバルブによりポンプをいかなる向きにも搭載することができます。

ミニポンプ
CBAバブル分離器、薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する

バブル分離器

White Knightのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてPTFE及びPFAを使用。大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。

バブル分離器
White Knight High-Purity Back-Pressure Regulators

圧力レギュレータ

複雑な圧力制御システムも追加する事なく、循環ループ及び複数の供給ポイントの流量管理を自動的に圧力制御する事ができます。これらは、完璧に清掃されたPTFE及びPFA流路を特長としています。前方及び背圧レギュレータは遠隔操作。

圧力レギュレータ
White Knight Non-Metalic High-Purity Filter Housings

フィルタハウジング

高純度薬品向けのPTFE及びPFA流路を装備した、汎用性の高いコンパクトなマルチチャンバ・フィルタハウジング。 デュアル及びクアッドボウル・フィルタ・ハウジングは並列又はインライン(直列)モデルで提供可能です。

フィルタハウジング
iPolymer PTFE Valves

PTFE流体バルブ

iPolymer manufactures a variety of high-purity valves with PTFE, PVDF, or Polypro wetted paths, including Solenoid Valves, Pneumatic Valves, Manual Valves, Suck Back Valves, and Pressure Relief Valves.

PTFE流体バルブ
iPolymer PTFE Spray Guns

PTFEスプレーガン

iPolymer manufactures PTFE spray guns for DI Rinsing, Nitrogen Drying, Recirculating, and Liquid Dispensing. They are made of virgin PTFE and Polypropylene for long life in harsh acidic or corrosive environments.

PTFEスプレーガン
ipolymer Air Cylinders

エアーシリンダー

iPolymer Air Cylinders made from strong, durable PVC, Polypropylene, and PVDF. They have standard, easy-to-use mounting and optional position sensors.

エアーシリンダー
iPolymer PTFE Air & Liquid Aspirators

PTFEアスピレーター

iPolymer PTFE air and liquid aspirators offer efficient, rapid siphoning of gasses, water, and chemicals. They use clean dry air (CDA) or Nitrogen to initiate and sustain a natural or forced siphon.

PTFEアスピレーター
White Knight 安定した流れを実現した高純度遠心ポンプ

高純度遠心ポンプ

磁気浮上したインペラーを用いた安定した流れを実現した遠心ポンプ

White Knight PCA300の大きな特徴はインペラーが単独に磁気浮上し摺動部なく回転する事です。 本ポンプは電子制御コントロールによりインペラを正確に制御し連続的で脈動のない安定した流体の流れを提供します。

  • 磁気浮上インペラー
  • モーターはインペラーをベアリング等摺動部なく回転させます
  • 接液部材料をPTFE/PFAを使用し高
  • 液漏れのないToung-&-Grooveシール
  • 最高140 lpmの流量
  • 耐圧 1.0MPa(150PSI)
  • 最大吐出差圧 (inとoutの差圧) 0.47MPa
  • CMPアプリケーションにおける循環フィルター寿命向上
高純度遠心ポンプ

高純ウェットプロセスタンク

Global Standard for Static and Recirculating Processes

Accubath Heated Quartz Process Tank Silicon Nitride Etch

Accubath™ 石英ウェットプロセスタンク

Accubath™ 石英ウェットプロセスタンク processes using quartz-compatible chemistries up to 190°C…

石英ウェットプロセスタンク
Accumeg PVDF Megasonic Tank with Quick Dump Rinse

Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク

Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク minimize welding and seams to reduce particles…

高純ウェットプロセスタンク
Accubath XE-Lab System Wet Etch Bath

Accubath™ Sapphire ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク

Accubath™ サファイアウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク safely and reliably heat chemistries up to 300°C…

ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems PVDF Quick Dump
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Quartz Recirculating

PVDF、PFA、または石英メガソニック洗浄装置

Accumeg™ Megasonic メガソニック洗浄装置

Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank

Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals

  • Reliable components
  • Extensive 36 month warranty
  • Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
  • High watt density
  • Operates at 70°C+
  • Field replaceable transducer arrays
Accumeg™ Megasonic メガソニック洗浄装置

White Knight ヒーター

超高純度流体およびガス用ヒーター

Accuheat PFA インライン薬液ヒーター

Accuheat™ PFA Chemical インラインヒーター

Accuheat™ PFA chemical インラインヒーター are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…

Accuheat® PFA Chemical インラインヒーター
Accuheat 石英高純度インライン薬液ヒーター Dual Tube 12000 Watts

Accuheat™ Chemical 石英インラインヒーター

Accuheat™ chemical 石英インラインヒーター consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…

Accuheat® Chemical 石英インラインヒーター
Accuheat PFA インライン溶剤ヒーター

Accuheat™ PFA インライン溶剤ヒーター

Accuheat™ PFA インライン溶剤ヒーター are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…

Accuheat® PFA インライン溶剤ヒーター
Accuheat Quartz 石英インライン気体ヒーター

Accuheat™ 石英インライン Gas ヒーター

Accuheat™ 石英インライン Gas ヒーター for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…

Accuheat® 石英インライン Gas ヒーター
Heateflex Aquarius 脱イオン(DI)温水器システム

Aquarius® 脱イオン(DI)温水器システム

Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…

Aquarius® ヒーター
Heateflex PFA 超純インライン流体暖房器

PFA 超純インライン流体ヒーター

HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…

PFA ヒーター
Heateflex LH1 PVDF PFA 超純インライン流体ヒーター

PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター

PVDF/PFA fluid heaters ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…

PVDF/PFA ヒーター
Heateflex Vesper PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ Series of PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…

Vesper™ ヒーター
Heateflex PFA Immersion Tank ヒーター

PFA 液浸タンクヒーター

Heateflex® immersion tank heaters are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…

PFA 液浸タンクヒーター
Heateflex 超高純度流体およびガス用暖房器

超高純度流体およびガス用ヒーター

White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water (DIW), chemicals, gases, and solvents.

流体およびガス用ヒーター
Heateflex と Imtec 旧型モデルヒーター

旧型モデルヒーター

旧型モデルヒーター: Aries 溶剤ヒーター, Fluidix®蒸気で動く脱イオン(DI)温水器システム, Poseidon™ ステンレス鋼超純流体ヒーター, SX ステンレス鋼大流量流体ヒーター, True Sanitary インライン流体ヒーター, Demeter™ システム…

旧型モデルヒーター
Heateflex Aquarius 脱イオン(DI)温水器システム

Aquarius® 脱イオン(DI)温水器システム

Aquarius® 脱イオン(DI)温水器システム are the perfect solution for high-purity DI Water heating applications that require highly accurate temperature control. Its Power-to-Flow Control® feature provides one of the most accurate temperature controls available in DI water heating systems, and it eliminates undesirable overshoots or drops in temperature due to inadequate PID controllers. Aquarius® systems are engineered to deliver high flows of continuous, at-temperature, hot DI water.

  • Ultra-pure design with PVDF/PFA wetted surfaces
  • Programmable logic controller delivers enhanced temperature stability
  • No N2 purge required
  • Plug-and-play system with fully integrated controls
  • High-resolution touch-screen
  • Save costs by reducing the need for multiple immersion heaters
Aquarius® 脱イオン(DI)温水器システム