White Knight CBUバブル分離器

210℃ま薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する

概要

CBUシリーズのバブル分離器は高純度薬液供給と最高210℃のウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。 内径4インチの大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。必要に応じて分離器の容量を変更することが出来ます。 弊社のtongue-and-groove シール技術を使い様々な継ぎ手を選択可能。 液面検知センサー取り付け可能です。

CBU Debubbler for High Temperature Chemicals
CBUシリーズ仕様書

オーナーマニュアル

CBUオーナーマニュル

御注文手順

CBU御注文手順
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2年間保証
高純度
薬液の再循環 薬液の搬送 最高圧力7気圧(100 psi)
最高温度210℃

特長とメリット

  • プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてPTFE及びPFAを使用
  • 最高圧力0.7MPa(100 psi)
  • 高い許容圧力により 高流量を実現しプロセスのスピードを速くすることができます
  • 最高温度210℃
  • 薬液供給及びウエハープロセスにおいてバブル分離
  • Synchro-Thread™付きPTFEヘッド
  • Tongue-and-Grooveシールを使用したリークのない加工設計
  • リークのないデュアル・スタティック・クラッシュ・シール
  • 複数のを配管または溶接する必要はありません
CBU Debubbler Operation Diagram with Deionized Water and Sensors

動作

CBUシリーズのバブル分離器は流体の速度を遅く、方向を変える事により容器にバブルを捕捉します。 容器上部へ捕捉されたバブルによって液面が液面下限センサー検知し 容器ベント弁を開にする事により捕捉されたバブルを排出します。 容器ベント弁がオープンになることで容器内液面が液面上限センサー検知し容器ベント弁を閉にする。

Debubbler Applications

Remove Bubbles After Pumps

Chemical enters the debubbler through the stand tube. Level sensors 1 and 2 control the collected air volume in the debubbler. Collected air exits through the vent line.

Debubbler Removing Bubbles After Pump
Debubbler Removing Bubbles After Pump

Remove Bubbles Before Pumps

Chemical is pulled into the debubbler through the stand tube. Level sensors 1 and 2 control air collection level to purge the collected air, a vacuum is required to remove collected air. This can be achieved using a venturi-type vacuum.

Debubbler Removing Bubbles Before Pump
Debubbler Removing Bubbles Before Pump

Automate Drum Change

Level sensors 1 and 2 act to keep bubbles from the drums from continuing through to the pump. Level 3 indicates an empty drum. This can be used as an automatic drum switch or as a drum empty signal.

Debubbler Automated Drum Change with Empty Signal
Debubbler Automated Drum Change with Empty Signal

寸法

インチ(ミリメートル)単位の寸法

構成

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