概要
CBUシリーズのバブル分離器は高純度薬液供給と最高210℃のウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。 内径4インチの大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。必要に応じて分離器の容量を変更することが出来ます。 弊社のtongue-and-groove シール技術を使い様々な継ぎ手を選択可能。 液面検知センサー取り付け可能です。
特長とメリット
- プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてPTFE及びPFAを使用
- 最高圧力0.7MPa（100 psi）
- 高い許容圧力により 高流量を実現しプロセスのスピードを速くすることができます
- 最高温度210℃
- 薬液供給及びウエハープロセスにおいてバブル分離
- Synchro-Thread™付きPTFEヘッド
- Tongue-and-Grooveシールを使用したリークのない加工設計
- リークのないデュアル・スタティック・クラッシュ・シール
- 複数のを配管または溶接する必要はありません
動作
CBUシリーズのバブル分離器は流体の速度を遅く、方向を変える事により容器にバブルを捕捉します。 容器上部へ捕捉されたバブルによって液面が液面下限センサー検知し 容器ベント弁を開にする事により捕捉されたバブルを排出します。 容器ベント弁がオープンになることで容器内液面が液面上限センサー検知し容器ベント弁を閉にする。
Debubbler Applications
Remove Bubbles After Pumps
Chemical enters the debubbler through the stand tube. Level sensors 1 and 2 control the collected air volume in the debubbler. Collected air exits through the vent line.
Remove Bubbles Before Pumps
Chemical is pulled into the debubbler through the stand tube. Level sensors 1 and 2 control air collection level to purge the collected air, a vacuum is required to remove collected air. This can be achieved using a venturi-type vacuum.
Automate Drum Change
Level sensors 1 and 2 act to keep bubbles from the drums from continuing through to the pump. Level 3 indicates an empty drum. This can be used as an automatic drum switch or as a drum empty signal.
