薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する
CBAシリーズのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。 内径4インチの大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。 必要に応じて分離器の容量を変更することが出来ます。 弊社のtongue-and-groove シール技術を使い様々な継ぎ手を選択可能。 液面検知センサー取り付け可能です。
特長とメリット
- プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてPTFE及びPFAを使用
- 最高圧力0.7MPa（100 psi）
- 最高温度100℃
- 薬液供給及びウエハープロセスにおいてバブル分離
- Tongue-and-Grooveシールを使用したリークのない加工設計
- Extruded PFA pipe with threaded connections offer easy setup and maintenance without welding
- 高い許容圧力により 高流量を実現しプロセスのスピードを速くすることができます
- 最高6リットルまで可能なモデル
CBAシリーズ仕様書
