개요
Aquarius® 정제수, 탈이온수 (DIW), 및 초순수 (UPW) 히팅 시스템은 정확하고 정밀한 온도 제어를 제공하여 고온 DIW를 이용하며 정속유량이 요구되는 고순도 공정에 이상적인 장치입니다. 본 장치는 초고순도의 Heateflex® 가열 코일, Power-to-Flow™ 제어 시스템 및 그외 다양한 조작자 안전 장치를 갖추고 있습니다. 다양한 출력 옵션을 통해 필요로하는 유량조건과 온도 요건을 충족할 수 있습니다. Aquarius®는 여러개의 히터가 필요한 공정을 단일화 할수있어 운영 비용을 절감합니다.
Power-to-Flow™ Control
Power-to-Flow™ 제어 장치는 single-pass 히팅공정에서 정확한 온도 출력을 제공합니다. 이 제어장치는 장비에 요구되는 적정온도를 벗어나 급격히 올라가거나 떨어지는 요인을 근본적으로 없애줍니다. 정교한 제어 시스템은 공정에서 유량의 변동성을 관리하며multi-loop 능력과 feed-forward기능으로 구성되어 있습니다. 다양한 개별공정에서 유량과 온도를 측정하고 개별 히팅존으로 공급되는 전력을 상황에 맞게 조정합니다.이러한 진보된 통합 시스템은 D.I 워터의 흐름을 적정온도에서 안정적으로 공급해야 하므로 유량의 변이에 신속히 반응합니다.
기능 및 이점
- 고순도 PVDF/PFA 습윤표면
- 고해상도 터치스크린
- 사용자 편의 인터페이스
- 플러그 앤 플레이 시스템
- N2 퍼지 프리
온도 조절
- 뛰어난 온도 안정성
- 온도 및 유량 변화 시 신속한 응답
- 급격한 온도상승 및 강하요소 제거
- Power-to-Flow™ 제어 기능을 갖춘 PLC가 일정하고 안정적이며 정확한 온도 출력을 제공
- 이더넷 연결을 통해 히터 데이터를 팹의 SECS/GEM 시스템으로 신속하게 전송 (기타 통신 가능)
안전 설비
- 100kA 단락 전류 정격
- 접지 고장 회로 차단기, 정격 30mA 미만
- GFCI, 열 차단 센서 및 hi-limit 써머커플러에 다중 안전 PLC 모니터링 적용
- 도어 인터록 스위치 및 EMO에 이중 안전 모니터링 릴레이 적용
- NIST 인증 써머커플러
- 입출력단에 유량의 신속한 압력 분산을 위해 이중 감압 밸브 적용
- 전기 안전 및 DIW 호환성을 위한 접지 옵션
사양서
히터소자 |
Heateflex® Coil |
|---|---|
습윤표면 |
PVDF/PFA |
와트 |
40-225 kW (전압에 따라 다름) |
전압 |
200-480 VAC, 3-ph (와트에 따라 다름) |
온도 |
95º C (203º F) |
온도정확성 |
+/- 0.1º C (적용공정에 따라 다름) |
유량 |
0.5-32 GPM (1.9-122 LPM) |
압력 |
60 PSIG @ 95ºC |
효율 |
>99 % |
*모든 사양은 구성에 따라 다릅니다.
치수
신장 H x W x D
Model |
kW |
Low VAC |
High VAC |
|---|---|---|---|
DI-40 |
40 |
78 x 24 x 24 |
78 x 24 x 24 |
DI-80 |
80 |
78 x 32 x 24 |
78 x 24 x 24 |
DI-100 |
100 |
78 x 39 x 24 |
78 x 32 x 24 |
DI-120 |
120 |
78 x 39 x 24 |
78 x 32 x 24 |
DI-140 |
140 |
N/A |
78 x 32 x 24 |
DI-160 |
160 |
N/A |
78 x 32 x 24 |
DI-200 |
200 |
N/A |
78 x 39 x 24 |
DI-225 |
225 |
N/A |
78 x 39 x 24 |
Model |
kW |
Low VAC |
High VAC |
*Low VAC: 200-240 VAC, 3-Phase
*High VAC: 380-480 VAC, 3-Phase
구성
- 록아웃/태그아웃 기능을 갖춘 Fusible Disconnect 차단기
- 오토퍼지
- 저항센서
- 누출 경보(긴급 및 비긴급)
- Discrete 인터페이스
- 아날로그 인터페이스
- 드라이 컨택 인터페이스
- SEMI S2/S3
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