개요
Aquarius® 정제수, 탈이온수 (DIW), 및 초순수 (UPW) 히팅 시스템은 정확하고 정밀한 온도 제어를 제공하여 고온 DIW를 이용하며 정속유량이 요구되는 고순도 공정에 이상적인 장치입니다. 본 장치는 초고순도의 Heateflex® 가열 코일, Power-to-Flow™ 제어 시스템 및 그외 다양한 조작자 안전 장치를 갖추고 있습니다. 다양한 출력 옵션을 통해 필요로하는 유량조건과 온도 요건을 충족할 수 있습니다. Aquarius®는 여러개의 히터가 필요한 공정을 단일화 할수있어 운영 비용을 절감합니다.
Power-to-Flow™ Control
Power-to-Flow™ 제어 장치는 single-pass 히팅공정에서 정확한 온도 출력을 제공합니다. 이 제어장치는 장비에 요구되는 적정온도를 벗어나 급격히 올라가거나 떨어지는 요인을 근본적으로 없애줍니다. 정교한 제어 시스템은 공정에서 유량의 변동성을 관리하며multi-loop 능력과 feed-forward기능으로 구성되어 있습니다. 다양한 개별공정에서 유량과 온도를 측정하고 개별 히팅존으로 공급되는 전력을 상황에 맞게 조정합니다.이러한 진보된 통합 시스템은 D.I 워터의 흐름을 적정온도에서 안정적으로 공급해야 하므로 유량의 변이에 신속히 반응합니다.
기능 및 이점
- 고순도 PVDF/PFA 습윤표면
- 고해상도 터치스크린
- 사용자 편의 인터페이스
- 플러그 앤 플레이 시스템
- N2 퍼지 프리
온도 조절
- 뛰어난 온도 안정성
- 온도 및 유량 변화 시 신속한 응답
- 급격한 온도상승 및 강하요소 제거
- Power-to-Flow™ 제어 기능을 갖춘 PLC가 일정하고 안정적이며 정확한 온도 출력을 제공
- 이더넷 연결을 통해 히터 데이터를 팹의 SECS/GEM 시스템으로 신속하게 전송 (기타 통신 가능)
안전 설비
- 100kA 단락 전류 정격
- 접지 고장 회로 차단기, 정격 30mA 미만
- GFCI, 열 차단 센서 및 hi-limit 써머커플러에 다중 안전 PLC 모니터링 적용
- 도어 인터록 스위치 및 EMO에 이중 안전 모니터링 릴레이 적용
- NIST 인증 써머커플러
- 입출력단에 유량의 신속한 압력 분산을 위해 이중 감압 밸브 적용
- 전기 안전 및 DIW 호환성을 위한 접지 옵션
사양서
히터소자 |
Heateflex® Coil |
|---|---|
습윤표면 |
PVDF/PFA |
와트 |
40-225 kW (전압에 따라 다름) |
전압 |
200-480 VAC, 3-ph (와트에 따라 다름) |
온도 |
95º C (203º F) |
온도정확성 |
+/- 0.1º C (적용공정에 따라 다름) |
유량 |
0.5-32 GPM (1.9-122 LPM) |
압력 |
60 PSIG @ 95ºC |
효율 |
>99 % |
*모든 사양은 구성에 따라 다릅니다.
Aquarius-ECO™ systems are upgraded recirculating models that utilizes ultrapure White Knight PSA060 pumps with Heateflex’s advanced heating technology. This upgraded system improves performance and provides energy and water savings while still providing the same temperature performance. The valve may be located at the point of use.
Demand Mode: Fluid goes to process when it is in demand.
Recirculation Mode: Fluid recirculates and maintains temperature. No fluid is used.
Heateflex® Aquarius-ECO™ Ultrapure DI Water Systems
- Reduce water
- Reduce energy consumption
- Save money
- Heated Point-of-Use systems
- Complete heated coverage on demand
- No wasted, unheated water to drain
- React quickly to flow variations
- Provide accurate output temperature
- Reduce excessive temperature drops and overshoots
- SEMI S2/S3
치수
신장 H x W x D
Model |
kW |
Low VAC |
High VAC |
|---|---|---|---|
DI-40 |
40 |
78 x 24 x 24 |
78 x 24 x 24 |
DI-80 |
80 |
78 x 32 x 24 |
78 x 24 x 24 |
DI-100 |
100 |
78 x 39 x 24 |
78 x 32 x 24 |
DI-120 |
120 |
78 x 39 x 24 |
78 x 32 x 24 |
DI-140 |
140 |
N/A |
78 x 32 x 24 |
DI-160 |
160 |
N/A |
78 x 32 x 24 |
DI-200 |
200 |
N/A |
78 x 39 x 24 |
DI-225 |
225 |
N/A |
78 x 39 x 24 |
Model |
kW |
Low VAC |
High VAC |
*Low VAC: 200-240 VAC, 3-Phase
*High VAC: 380-480 VAC, 3-Phase
구성
- 록아웃/태그아웃 기능을 갖춘 Fusible Disconnect 차단기
- 오토퍼지
- 저항센서
- 누출 경보(긴급 및 비긴급)
- Discrete 인터페이스
- 아날로그 인터페이스
- 드라이 컨택 인터페이스
- SEMI S2/S3
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