電子式計量泵
PEM050泵有PTFE液體通路可準確地分配1至50毫升的腐蝕性液體為補充、混合、計量、和強化的程式。 可靠的泵，更高的出口壓力。 位置控制閥確保精度減緩脈衝,特別是單向閥。 可提供多達5個出液口,可以使用PLC控制。
- 電控可調式行程
- 配液量高達50毫升
- 精確度為正負0.01%
- 允許60-80 psi
- 可編程式系統邏輯
- 2到6介面配置
氣動計量泵
PPM100氣動計量泵準確地分配到在PTFE液體回路百毫升高純度度化學品。 它使滾動式膜片具有最大排氣壓力的能力。 兩個可以精確控制的逆止閥。
- 手動控制的行程可調
- 配液量高達100毫升
- 精確度為正負0.1%
- 允許60-85 psi
概述
White Knight 計量泵不同的流量可以使用在單片洗清的制程上或提供混合後的液體輸送。 泵是在高純度化學品的精確分配補充，混合，計量等應用，以及清洗CVD設備和光刻。 他們是理想的光致抗蝕劑，蝕刻和清洗工藝，食人魚過氧化混合物扣球，和之前推出基板化學混合物進入處理槽等混合。
特點和優點
- 可調式的行程速度
- 安全、無洩漏操作，不需要維護
- 無暴露的金屬防止腐蝕和污染
- 為高純度應用的全聚四氟乙烯材質的液體管路
- PP外殼的PTFE材質的旋轉膜片
- 易於安裝和檢查
- 嵌入或外掛的組件易於安裝和維護
- 安裝在任意方向
- 潔淨室內組裝，測試及包裝
- 洩漏檢測口
- 自吸式
- 佔用空間小
- 最小的保持量
- 正面的進/出口閥可防止氣體通過
規範
| Dispense Range | 1 - 50 ml per stroke |
10 - 100 ml per stroke |
| Dispense Repeatability | ± 0.01% (Full Scale) |
± 0.1% (Full Scale) |
| Cycles Per Minute | up to 6 CPM |
up to 12 CPM |
| Air Consumption SCF per Cycle |
1-3 SCFM |
0.038-0.048 SCFM |
| Fluid Path Materials | PTFE |
PTFE |
| Valve Actuation Air Pressure |
4.14 - 5.52 Bar (60 - 80 psi) |
4.14 - 5.86 Bar (60 - 85 psi) |
| Max Discharge Pressure | 3.8 Bar (55 psi) |
5.86 Bar (85 psi) |
| Temperature Capability | up to 100°C (212°F) |
up to 100°C (212°F) |
| Weight | 2.95 kg (6.5 lb) |
1.6 kg (3.5 lb) |
| Suction Lift* | 4.6 m (15 ft) |
4.6 m (15 ft) |
| Communication | Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA) |
- |
| Leak Detection Options | Valve Position Sensing |
Valve Position Sensing |
*Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 4.6 m (15 ft) above source. Optimized parameters can improve repeatability (up to ± 0.01%). Minimize suction lift to maximize repeatability. Tests conducted with water at ambient temperature. Dispense range measured at full stroke with maximum and minimum supply pressures at 80 psi and 60 psi. Contact White Knight for details.
尺寸圖
"A" |
"B" |
|
|---|---|---|
| PEM050-02 | 2.7 (69) |
11.0 (279) |
| PEM050-03 | 4.2 (107) |
12.5 (318) |
| PEM050-04 | 4.2 (107) |
12.5 (318) |
| PEM050-05 | 5.7 (145) |
14.0 (356) |
| PEM050-06 | 5.7 (145) |
14.0 (356) |
下載 PEM050 尺寸圖(PDF)
