液體中的連接軸
White Knight 高純度泵通過獨的有密封方式、不含金屬的設計、緊湊的體積、無需潤滑等特點滿足半導體製造商的要求。
通過液體通路中間放置主軸允許很小行程,從而節省了泵在設備和潔淨室的空間和成本。 由於液體側軸被它們泵送液體潤滑,該技術還允許 White Knight 提供一個泵絕對沒有金屬部件和沒有外來潤滑劑,從而大大降低了化學污染的風險。
作為液相連接軸在泵運行時由液體潤滑,長時間的空打(超過30秒)可能對濕面軸和軸密封產生嚴重的和不可逆轉的損害。 White Knight ,這是一種不太理想的情況對於某些應用程式,因此開發的SD版本,其標準的泵。 SD 泵的設計可以在空跑的條件下運行一段時間,沒有任何損壞的軸或密封,在一小時的空運行後。