CPC-1閉ループコントローラ
閉ループコントローラ（CPC-1）は、高純度閉ループ薬品ポンプシステム内で、チャンババルブの開閉やフィルタの目詰まり等、ウェーハプロセスにおける変数を補正するために、設定圧力と流量を自動的に調節しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。
閉ループコントローラ（CPC-1）は、高純度閉ループ薬品ポンプシステム内で、チャンババルブの開閉やフィルタの目詰まり等、ウェーハプロセスにおける変数を補正するために、設定圧力と流量を自動的に調節しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。