CBAバブル分離器、薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する

CBAシリーズのバブル分離器

CBAシリーズのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。 内径4インチの大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。 必要に応じて分離器の容量を変更することが出来ます。

PHC40 高圧ポンプ

PHC40 高圧ポンプ

White Knight のPHC40電子制御空圧定量ポンプは、最高4MPa(580 psi)の液体吐出圧力を提供します。 これらのポンプは、空気供給圧力最大許容圧力0.7MPa(100 psi)で動作可能です。 最高毎分60 mlを供給します。

White Knight PPMC Mini-Pump for High-Purity Chemicals

PPMC300 ミニポンプ

White Knight PPMCミニポンプは、高純度薬品処用PTFE及びPFA流路を特長としています。 このポンプは最高300 ml/分及び160 psiの吐出圧力で動作可能です。 これらは、各吸い込み及び供給動作を作動させるソレノイドバルブを特長としています。

White Knight High-Purity Pressure Vessels

CPA シリーズ 圧力容器

White Knightが最近は発表した圧力容器は、脈動を一切発生させない高純度薬品の供給を可能にしています。 これらは、使用時にラミナーフローを提供し、高純度薬品用保持または混合タンクとして使用します。 これらは、薬品の供給と混合を可能にする耐薬品性PTFE及びPFA流路を特長としています。