CPA シリーズ 圧力容器

White Knightが最近は発表した圧力容器は、脈動を一切発生させない高純度薬品の供給を可能にしています。 これらは、使用時にラミナーフローを提供し、高純度薬品用保持または混合タンクとして使用します。 これらは、薬品の供給と混合を可能にする耐薬品性PTFE及びPFA流路を特長としています。

FHA シリーズ フィルタハウジング

White Knight 社は、高純度用途で使用できる最もコンパクトで金属を一切使用しない フィルタハウジング を発表します。 デュアル及びクアッドボウル・フィルタ・ハウジングは、直列(インライン)または並列フィルタ構成を提供しますが、従来と比較して50%の省スペースを実現しています。

CPC-1閉ループコントローラ

閉ループコントローラ(CPC-1)は、高純度閉ループ薬品ポンプシステム内で、チャンババルブの開閉やフィルタの目詰まり等、ウェーハプロセスにおける変数を補正するために、設定圧力と流量を自動的に調節しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。

CPT-1 Cycle Rate Translator

White KnightのCycle Rate Translator (CPT-1)は、既存装置内でポンプの全面交換を可能にします。 CPT-1は、White Knightポンプをその最適なサイクル速度で動作させ、装置が予測したサイクル速度に合わせるために調整した動作可能サイクル速度を装置に伝えます。

DBA 及びDBH シリーズパルス脈動吸収装置

DBA及びDBHシリーズインライン上部搭載型パルス脈動吸収装置は、White Knight高純度ポンプの能力を向上させます。 これらは、流体システム内脈動の低減、流量制御の改善、バッチ歩留まりの向上、フィルタ、継手、及び配管の保護、及びシステムの修理によるダウンタイムの大幅な短縮を実現しています。 DBA及びDBHシリーズ脈動吸収装置は、各々最高温度100℃と145℃で動作します。

PSDシリーズ空圧ダブルダイヤフラムポンプ

PSDシリーズ空圧ダブルダイヤフラム(AODD)ポンプは、優れた性能、最適化された効率、容易な保守、及び低騒音を提供します。 PSDシリーズポンプは、半導体、太陽電池、電子機器などのハイテク産業に、薬品の配送、補充、及び大量搬送処理向けに費用対効果の高い手段を提供しています。 リークのない設計は、安定した、確実で安全な動作を提供しています。 PSDシリーズは、1/2インチ(PSD08)と1インチ(PSD16)の2つのモデルで提供され、用途によって異なる磨耗、温度、及び薬品相溶性要件に適合する材料を選択できます。

PPM100空圧定量ポンプ

White Knightの高純度PPM100空圧定量ポンプは、PTFE流路を特長としています。 これらは最高100 mlの腐食媒体を±0.1%の再現性で、高圧(60-85 psi)で供給することができます。 これらのポンプは、枚様式プロセス装置や予混合槽内で使用できるよう調節可能な流量を提供し、ヘッドでの現場(in-situ)混合を可能にしています。