閉ループコントローラ（CPC-1）は、高純度閉ループ薬品ポンプシステム内で、チャンババルブの開閉やフィルタの目詰まり等、ウェーハプロセスにおける変数を補正するために、設定圧力と流量を自動的に調節しています。 これらは、プロセス自動化を簡素化し、お客様の時間と資源を節約するだけでなく、高価な圧力システムを不要にすることでコストを大幅に削減しています。
最初の高純度閉ループ制御システム
最高温度210℃、デッドヘッド状態、及び吸込揚程に対応。 金属、エラストマーOリング、または潤滑剤は使用していません。羽根車を使用していないためマイクロバブル発生なし。
CPC-1は、吸込揚程を生成し冷却ジャケットなしで最高210℃の温度で動作可能な世界最高の高純度閉ループシステムを提供します。 また、システム内で使用されるWhite Knightのポンプと脈動吸収装置は、流路内に金属、Oリング、潤滑剤、及び回転部品を使用していません。
CPC-1は、お客様の時間と資源を節約するためにプロセスの自動化を簡素化します。 このコントローラはシステムの信頼性と再現性を改善し、高価な圧力システムを不要にするだけでなく、White Knightの実証済みの金属を使用しないポンプと脈動吸収装置を活用して汚染リスクを解消し最高210℃と高吸込揚程を可能にする完璧な高純度閉ループシステムを実現しています。
閉ループ制御
White KnightのCPC−１閉ループ制御システムのセットアップ
プログラマブルコントローラCPC-1は、圧力トランスデューサからのフィードバック、流量計からのフィードバックを使用した流量、又はフィードバック制御なしの供給圧力をモニタすることで、空圧制御システムを制御することが可能です。
完璧な閉ループ制御システムでは、CPC-1は電空圧比例レギュレータに信号を送出します。 このレギュレータはポンプを加圧します。 このポンプは流体配管を加圧して、流体の流れを生じさせます。 配管内のセンサは信号をCPC-1に戻し、調節してから閉ループ処理を繰り返します。 同時に、CPC-1はアラーム、PLC、又はWindowsベースのPCと通信し、CPC-1を各種ツールの設計に組み込むことを可能にしています。
CPC-1 の特長とメリット
- 閉ループシステムは指定した流量または圧力を維持するために自動調整します
- 業界標準のプロトコルとシンプルなソフトウェアインタフェースを採用しているので直ぐに使えます
- フィルタ取り付けの有無、粘度、又は温度に関係のない圧力遷移での流量安定性
- ポンプの継続サイクリングなしにデッドヘッド内の配管圧力を維持
- 需要と配管制限の変化に合わせて搬送圧力を維持
- 流量、供給圧力、配管圧力、及び温度のリアルタイムフィードバック
- 迅速容易な制御モードの切り替え
- 制御限界、システム限界、保守、及びリーク検出用のカスタマイズ可能なアラーム
- アナログ及びディジタル信号を介した入出力通信
- 高圧と高温でシステムを動作可能にするWhite Knightの高純度ポンプの全製品をサポートしています。 複数のポンプを並列運転で使用することができます。
