White Knight Fluid Handling社は、薬品の充填、ブレンド、添加、及び混入用途向けに待望の PEM050電子定量ポンプ の発売を発表します。
White Knight PEM050は、最高50 mlの高純度薬品を±0.01%の再現性で高圧（60-80 psi）で供給します。 これらは、薬品相溶性と吐出圧力を最大限に高めるために、PTFE流路と完璧にサポートしたローリングダイヤフラムを特長としています。 正の制御バルブはチェックバルブに特有であるばらつきを解消することによって精度を保証します。
PEM050ポンプは、プログラマブル・システム・ロジックで個別に制御可能な最大5つのポートを提供します。
これらのポンプは、枚様式プロセス装置や予混合槽内で使用できるよう調節可能な流量を提供し、ヘッドでの現場(in-situ)混合を可能にしています。 これらの定量ポンプは、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入用途向けだけでなくCVD装置の洗浄やフォトリソグラフィ向けに、設計されました。 これらは、基板導入に先立ち、フォトレジスト、エッチング及びクリーニングプロセス、ピラニア混合物内への過酸化物添加、及びその他の薬品混合物をプロセスタンクにブレンドする用途に理想的です。
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