PPM100空圧定量ポンプ

White Knightの高純度PPM100空圧定量ポンプは、PTFE流路を特長としています。 これらは最高100 mlの腐食媒体を±0.1%の再現性で、高圧（60-85 psi）で供給することができます。 White Knightの定量ポンプは、枚様式プロセス装置や予混合槽内で使用できるよう調節可能な流量を提供し、ヘッドでの現場(in-situ)混合を可能にしています。 これらのポンプは、補充、ブレンド、添加、及び混入用途向けだけでなくCVD装置の洗浄やフォトリソグラフィ向けにも使用できるよう設計されています。 これらは、基板導入に先立ち、フォトレジスト、エッチング及びクリーニングプロセス、ピラニア混合物内への過酸化物添加、及びその他の薬品混合物をプロセスタンクにブレンドする用途に理想的です。

詳細: https://wkfluidhandling.com/ja/products/pumps/metering/ppm100/