Semicon West 2014

White Knight、新製品と改善した流体処理システムを発表

White Knightは、SEMICON West 2014に出展し、新しい流体処理技術を発表し、同社の 閉ループ制御システム から収集した重要なデータを提示しました。 おかげさまで、代理店、装置メーカー、及びお客様からの反響は絶大でした。

White Knightは、 電子定量ポンプ、汎用フィルタハウジング、 圧力容器 を含む多くの製品、及び流量制御とプロセスの完全性の向上によるチップ歩留まりの増大に焦点を当てたプレゼンテーションを発表しました。

最近のテストで、White Knightの 閉ループ制御 システムと 高純度ポンプ を延伸ポンプと比較しました。 White Knightポンプと遠心ポンプからの流量脈動が、試験した運転条件に関係なく、両方とも比較的低くほとんど同じであることが、第三者機関による報告で確認されました。 White Knightポンプと遠心ポンプの間で測定できるほどのフィルタ保持率の差はありませんでした。

温度安定性テストでは、White Knightのポンプは流体槽温度を全く上昇させなかったが、遠心ポンプは流体温度を2時間で10℃、8時間で30℃を超えて上昇させたことを示しました。 遠心ポンプと異なり、White Knightのポンプは、インペラーやマグネットなど金属を一切使用しない流路が特長です。 また、White Knightの閉ループ制御システムは最高温度210℃で動作可能です。 White Knightのシステムはデッドヘッドで待機状態となり、高吸込揚程を提供します。

詳細：https://wkfluidhandling.com/ja/products/closed-loop-systems/.

White Knight 製品発表

電子定量ポンプ

お客様待望のPEM050電子定量ポンプは、SEMICON West 2014で展示されました。 このポンプは、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入用途向けに設計されています。 このポンプは、完璧に清掃され流路を特長とし、高純度の薬品を高圧（60-80 psi）で最高毎分50 ml、再現性±0.01%で供給します。

フィルタハウジング

White Knightのデュアル及びクアッドボウル・フィルタ・ハウジングは、どんな種類のフィルタでも並列または直列（インライン）動作で使用することができます。 これらは、コンパクトで密封性に優れた高流量を全て実現したポンプです。 ハウジングには金属部品は一切含まれていないため、液体配管を外さずにフィルタの交換が可能です。 これらは、NPTネジを使用せずに業界標準流体接続部で設置することができます。

圧力容器

White Knightの PTFE及びPFA圧力容器は、使用時に高純度薬品供給用にラミナーフローを提供し、薬品の維持及び混合タンクとして使用します。 これらは、3インチと4インチの外径及び各種接続可能配管長で提供されます。 これらは、構成可能ポート接続部を特長とし、PTFEマニフォルド端部は、より多くのポート又は組み込みバルブを装備できるよう設計されています。

圧力レギュレータ

White Knightの前方及び背圧レギュレータは、遠隔操作機能を提供し、薬品循環ループ及びシステムのシステム圧力を、複数箇所のツールドロップと供給ポイントで維持しています。 これらは、最高100℃の温度で薬品を配送、最高供給圧力7気圧（100 psi）で動作可能です。 これらは、エアスプリングを装備した高精度圧力レギュレータでシステムの脈動を低減します。