정량 펌프
고순도 공압 정량 펌프 와 전기제어식 정량 펌프는 제각기 100 ml 와 50 ml 를 정확하게 토출. 이 신뢰할 수 있는 비 금속 펌프는 자석이나 임펠러가 없는 PTFE 및 PFA 유체경로가 특징입니다. 펌프는 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 작업에서 고순도 케미칼을 정확하게 토출.
Debubblers
Debubblers reduce bubbles from chemical delivery and wafer process systems. They feature chemically-resistant PTFE and PFA fluid paths for high-purity chemical applications.
PTFE 유체 밸브
iPolymer manufactures a variety of high-purity valves with PTFE, PVDF, or Polypro wetted paths, including Solenoid Valves, Pneumatic Valves, Manual Valves, Suck Back Valves, and Pressure Relief Valves.
PTFE 스프레이 건
iPolymer manufactures PTFE spray guns for DI Rinsing, Nitrogen Drying, Recirculating, and Liquid Dispensing. They are made of virgin PTFE and Polypropylene for long life in harsh acidic or corrosive environments.
고순도 폐 회로 펌프 시스템
비 금속 폐회로 제어 시스템으로 자동적으로 유지되는 층류 또는 일정한 압력은 안정적인 온도, Dead-head 및 흡입 양정을 제공 합니다.
고순도 화학 약액 공정 과 이송 시스템을 제어. 단순 공정 자동화로 시간, 자원 절약및 비용을 감소.
- ≤ 140 lpm 유량
- ≤ 7 Bar (100 psi) 압력
- ≤ 210°C 온도
- 안정적인 온도 유지
- 비 금속, 비 부식
- 비 탄성 중합체의 O-링, 비 누수
- 비 전기 모터, 열 상승이 안됨
- 임펠러 없음, 마이크로버블이 없음
습식 공정 탱크
Global Standard for Static and Recirculating Processes
Accubath™ 가열 석영 습식 공정 탱크
Accubath™ 가열 석영 습식 공정 탱크 processes for 석영-compatible chemistries up to 190°C…
Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP 습식 공정 탱크
Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP wet process and rinse tanks minimize welding and seams to reduce particles…
Accubath™ Sapphire 습식 에칭 욕조 공정 탱크
Accubath™ sapphire 습식 에칭 욕조 공정 탱크 safely and reliably heat chemistries up to 300°C…
PVDF, PFA, 및 석영 메가 소닉 청소 탱크 시스템
Accumeg™ 메가 소닉 청소 탱크 시스템
Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank
Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals
- Reliable components
- Extensive 36 month warranty
- Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
- High watt density
- Operates at 70°C+
- Field replaceable transducer arrays
Accuheat™ PFA 인라인 유체 히터
Accuheat™ PFA 인라인 유체 히터 are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…
Accuheat™ Quartz 인라인 유체 히터
Accuheat™ quartz 인라인 유체 히터 consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…
Accuheat™ PFA 인라인 용제 히터
Accuheat™ PFA 인라인 용제 히터 are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…
Accuheat™ Quartz 인라인 가스 히터
Accuheat™ quartz 인라인 가스 히터 for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…
Aquarius® 탈 이온수 (DIW) 히터
Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…
PFA 초 순수 인라인 유체 히터
HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…
PVDF/PFA 초 순수 인라인 유체 히터
PVDF/PFA fluid heaters ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…
Vesper™ PVDF PFA 열교환 기
Vesper™ Series of PVDF/PFA heat exchangers offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…
PFA 침지 탱크 히터
Heateflex 침지 탱크 히터 are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…
HX50 아담한 히터
HX50 in-line heaters feature compact 50-mm (2-in) diameter housings for low wattage and low-flow applications where space is limited.
유체 및 가스 히터
White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water, chemicals, gases, and solvents.
Aquarius® 탈 이온수 (DIW) 히터
Aquarius® 탈 이온수 (DIW) 히터 are the perfect solution for high-purity DI Water heating applications that require highly accurate temperature control. Its Power-to-Flow Control® feature provides one of the most accurate temperature controls available in DI water heating systems, and it eliminates undesirable overshoots or drops in temperature due to inadequate PID controllers. Aquarius® systems are engineered to deliver high flows of continuous, at-temperature, hot DI water.
- Ultra-pure design with PVDF/PFA wetted surfaces
- Programmable logic controller delivers enhanced temperature stability
- No N2 purge required
- Plug-and-play system with fully integrated controls
- High-resolution touch-screen
- Save costs by reducing the need for multiple immersion heaters