제조 디스플레이 및 전자 산업

고순도 화학류를 위한 펌프, 폐회로 시스템 및 액세서리

White Knight 사 펌프

White Knight pumps are ideal for manufacturing flat-panel displays and other electronics. They are built on decades of innovative engineering and in-house manufacturing experience. They are safe, reliable, and require little maintenance even in demanding environments. 당사 고 순도 펌프는 평면 디스플레이, 전자 산업을 위한 케미컬 약액 과 슬러리를 이송, 순환, 재생 및 운반에 사용.

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사용자 지정 테스트 프로그램

벨로우즈 펌프

초순수 공압 구동 이중-벨로우즈 (AODB) 펌프는 PTFE 와 PFA 로 구성된 유체 경로. 이러한 신뢰할수 있고 누수없는 펌프는 고유량, 안정적인 압력과 일정한 온도를 제공. 금속, 탄성중합체 O-링, 임펠러 또는 전기적 모터가 포함않됨. Dead-head 능력과 고흡입 양정을 제공.

벨로우즈 펌프

다이아프램 펌프

고순도 공압 구동 이중-다이아프램 (AODD) 펌프는 PTFE 나 UHMW (PE) 내부식성 으로 구성된 유체 경로. 펌프는 우수한 성능, 효율 극대화 및 단순한 유지 보수를 제공합니다.

다이아프램 펌프

정량 펌프

고순도 공압 정량 펌프전기제어식 정량 펌프는 제각기 100 ml 와 50 ml 를 정확하게 토출. 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 응용작업을 위한 정확히 토출하는 고 순도 펌프. 포토 레지스트, 에칭 및 클린 공정에 이상적. 전체가 지지되는 PTFE 회전(Rolling) 다이아프램은 최대 압력 성능과 안전을 보장하고 신뢰할수있는 작동.

정량 펌프

미니 펌프

미니 펌프는 최대 300 ml/분 유량 과 160 psi 토출 압력을 제공. PTFE 와 PFA 유체 경로 와 스프링 부하식 체크 밸브로 인하여 자유로운 펌프 설치 방향. 솔레노이드 밸브는 각각의 흡입 과 토출시 작동.

미니 펌프

압력 레귤레이터

비 금속 폐회로 제어 시스템으로 자동적으로 유지되는 층류 또는 일정한 압력은 안정적인 온도, Dead-head 및 흡입 양정을 제공 합니다. 특징적인 전체-곡선형 유체 경로. 최대 100°C 와 7 Bar 에서 작동.

압력 레귤레이터

압력 베셀

White Knight사 압력 베셀은 POU에 일정한 유량을 공급. 가혹한 적용분야 에서 케미칼 토출과 믹싱을 위한 내화학성 PTFE 와 PFA 로 구성된 유체 경로.

Pressure Vessels

Debubblers

Debubblers reduce bubbles from chemical delivery and wafer process systems. They feature chemically-resistant PTFE and PFA fluid paths for high-purity chemical applications.

Debubblers

고순도 폐 회로 펌프 시스템

비 금속 폐회로 제어 시스템으로 자동적으로 유지되는 층류 또는 일정한 압력은 안정적인 온도, Dead-head 및 흡입 양정을 제공 합니다.

고순도 화학 약액 공정 과 이송 시스템을 제어. 단순 공정 자동화로 시간, 자원 절약및 비용을 감소.

  • ≤ 140 lpm (36 gpm) 유량
  • ≤ 7 Bar (100 psi) 압력
  • ≤ 210°C (410°F) 온도
  • 일정한 온도 유지
  • 비 금속, 비 부식
  • 비 탄성 중합체의 O-링, 비 누수
  • 비 전기 모터, 열 상승이 안됨
  • 임펠러 없음, 마이크로버블이 없음
고순도 폐 회로 펌프 시스템

Accubath™ 가열 석영 습식 공정 탱크

Accubath™ 가열 석영 습식 공정 탱크 processes for 석영-compatible chemistries up to 190°C…

가열 석영 습식 공정 탱크

Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP 습식 공정 탱크

Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP wet process and rinse tanks minimize welding and seams to reduce particles…

PTFE, PVDF, PFA, NPP 공정 탱크

Accubath™ 가열 스테인레스 스틸 습식 공정 탱크

Accubath™ 가열 스테인레스 스틸 습식 공정 탱크 for reliable and safe performance in static and recirculating systems…

스테인레스 스틸 습식 공정 탱크

Accubath™ Sapphire 습식 에칭 욕조 공정 탱크

Accubath™ sapphire 습식 에칭 욕조 공정 탱크 safely and reliably heat chemistries up to 300°C…

Sapphire 습식 에칭 욕조 공정 탱크

PVDF, PFA, 및 석영 메가 소닉 청소 탱크 시스템

Accumeg™ 메가 소닉 청소 탱크 시스템

Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank

Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals

  • Reliable components
  • Extensive 36 month warranty
  • Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
  • High watt density
  • Operates at 70°C+
  • Field replaceable transducer arrays
Accumeg™ 메가 소닉 청소 탱크 시스템

White Knight 히터

울트라 퓨어 히터 시스템

Accuheat™ PFA 인라인 케미컬 히터

Accuheat™ PFA 인라인 케미컬 히터 are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…

PFA 인라인 케미컬 히터

Accuheat™ 석영 인라인 케미컬 히터

Accuheat™ 석영 인라인 케미컬 히터 consist of ultra-pure 석영 tubes, wrapped in a heater element that provides…

석영 인라인 케미컬 히터

Accuheat™ PFA 인라인 용제 히터

Accuheat™ PFA 인라인 용제 히터 are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…

PFA 인라인 용제 히터

Accuheat™ 석영 인라인 Gas 히터

Accuheat™ 석영 인라인 Gas 히터 for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…

석영 인라인 Gas 히터

Aquarius® 탈 이온수 히터

Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…

Aquarius® 탈 이온수 히터

PVDF/PFA 초 순수 인라인 유체 히터

PVDF/PFA fluid heaters ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…

PVDF/PFA 유체 히터

PFA 초 순수 인라인 유체 히터

HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…

PFA 유체 히터

Vesper™ PVDF PFA 열교환 기

Vesper™ Series of PVDF/PFA heat exchangers offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…

Vesper™ 열교환 기

PFA 침지 탱크 히터

White Knight 침지 탱크 히터 are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…

PFA 침지 탱크 히터

HX50 아담한 히터

HX50 in-line heaters feature compact 50-mm (2-in) diameter housings for low wattage and low-flow applications where space is limited.

HX50 아담한 히터

White Knight 유체 및 가스 히터

White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water, chemicals, gases, and solvents.

White Knight 유체 및 가스 히터

구형 히터 시스템

Discontinued heaters systems include: Aries Solvent Heaters, Fluidix® Steam-Powered DIW Heaters, Poseidon™ Stainless Steel Heaters, SX Stainless Steel Heaters, Demeter™ Systems…

구형 히터 시스템