電子機器製造向け製品

White Knightのポンプ

White Knightの高信頼性半導体製造向けポンプは、発光ダイオード、フラットパネルディスプレイ、及びその他の電子機器の製造に適しています。 当社の高純度ポンプは数十年にわたる革新的なエンジニアリングと社内製造経験に基づいて製造されているため、White Knightは最も厳しく要求の高い環境でもほとんど保守を必要としない安全で信頼性の高いポンプの提供を可能にしています。ポンプ は、電子機器を製造するために高純度薬品を配送、再循環、補充、及び搬送します。

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カスタムテストの開始

ダイヤフラムポンプ

高純度空圧ダブルダイヤフラムポンプは、PTFE又はUHMW（PE）耐腐食性流路を特長としています。これらの安全で確実なポンプは優れた性能と容易な保守を提供しています。White Knightの シリーズポンプ は、旧式の薬品配送ポンプにそのまま使用できる交換レトロフィットです。

定量ポンプ

空圧定量ポンプ と 電子定量ポンプ は、PTFE流路を特長とし、各々最高100 mlと50 mlで供給します。 全面的に支持されているPTFEローリングダイヤフラムは、圧力機能を最大限に引き上げ、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入で、薬品の安全で確実な供給を保証しています。

ミニポンプ

最高流量300 ml/分、吐出圧力160 psiで動作可能です。 これらは、PTFE及びPFA流路を特長とし、スプリング内蔵チェックバルブによりポンプをいかなる向きにも搭載することができます。 各揚程と供給を作動させます。

圧力レギュレータ

複雑な圧力制御システムも追加する事なく、循環ループ及び複数の供給ポイントの流量管理を自動的に圧力制御する事ができます。これらは、完璧に清掃されたPTFE及びPFA流路を特長としています。前方及び背圧レギュレータは遠隔操作。

圧力容器

White Knightの PTFE及びPFA圧力容器は、使用時に高純度薬品供給用にラミナーフローを提供し、薬品の維持及び混合タンクとして使用します。 これらは、要求の厳しい用途での薬品の供給と混合を可能にする耐薬品性PTFE及びPFA流路を特長としています。

バブル分離器

White Knightのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてPTFE及びPFAを使用。大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。