저 유량 펌프

저 유량의 고순도 펌프

White Knight 고순도 정량 펌프

정량 펌프

White Knight 사 정량 펌프는 정확한 화학 혼합물을 얻기위하여 매엽식 공정 장비나 사전 혼합 베셀에서 조절가능한 유량을 제공 하거나 상부에서 직접 인라인 (in-situ) 믹싱을 허용. 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 응용작업을 위한 정확히 토출하는 고 순도 펌프. 포토 레지스트, 에칭 및 클린 공정에 이상적.

  • 수동이나 전기적으로 행정 속도를 전부 조정 가능
  • 토출량 ≤ 50 ml or ≤ 100 ml, 모델에 따라
  • 고 정확도 ; ± 0.01% or ± 0.1% 재 현성, 모델에 따라
  • 금속에 노출되지 않아서 부식과 오염을 방지
  • 고 순도 케미칼을 위한 Teflon® PTFE 전체-곡선형 유체 경로
  • PEM 펌프의 특징은 프로그램 가능한 시스템 로직과 2-6 포트
고순도 정량 펌프PEM050 사양 시트PPM100 사양 시트
White Knight PHC40 고압력 정량펌프

고압력 정량펌프

PHC40 고압력 정량펌프는 40 bar (580 psi) 의 유체 토출 압력을 제공. 분당 60 ml 까지 토출. 금속 없는 흐름 경로로 이온화 오염을 방지. 최대 7 Bar (100 psi) 의 공압을 공급 가능.

  • 연속된, 일정한 흐름
  • ≤ 40 bar (580 psi) 토출
  • ≤ 7 Bar (100 psi) 공압
  • ≤ 60 ml/분
  • 금속없는 유체 경로
  • 압력-배수 설계
고압력 정량펌프PHC40 사양 시트
White Knight PPMC 고순도 미니 펌프

미니 펌프

PPMC 미니 펌프는 최대 300 ml/분 유량 과 160 psi 토출 압력을 제공. Teflon® PTFE 및 PFA 유체 경로 와 스프링 부하식 체크 밸브로 인하여 자유로운 펌프 설치 방향. 솔레노이드 밸브는 각각의 흡입 과 토출시 작동.

  • ≤ 300 ml/분 유량
  • ≤ 11 Bar (160 psi) 유체 압력
  • ≤ 7 Bar (100 psi) 공압
  • ≤ 100°C (212°F)
  • ≤ 0.5 m (20 in) 흡입 양정
  • 금속없는 유체 경로
PPMC 미니 펌프PPMC 사양 시트

사양서

펌프 모델
토출 범위 또는 최대 유량
1 - 50 ml/행정
10 - 100 ml/행정
60 ml/행정
~0.75 ml/행정
토출 재현성
± 0.01% (Full Scale)
± 0.1% (Full Scale)
-
-
분당 회전수
≤ 6 CPM
≤ 12 CPM
≤ 5 CPM
≤ 400 CPM
유체 경로 재질
PTFE
PTFE
Sapphire, PEEK,
PTFE, FFKM
PTFE, PFA
최대 공기압
4.14-5.86 Bar
(60 - 85 psi)
4.14-5.86 Bar
(60 - 85 psi)
7 bar (100 psi)
7 bar (100 psi)
최대 토출 압력
5.51 Bar (80 psi)
5.86 Bar (85 psi)
40 Bar (580 psi)
11 Bar (160 psi)
온도
≤ 100°C (212°F)
≤ 100°C (212°F)
≤ 80°C (176°F)
≤ 100°C (212°F)
흡입 양정
4.6 m (15 ft)
4.6 m (15 ft)
-
508 mm (20 in)
통신
Serial, Ethernet, or Digital
(0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
-
-
Turck Connector
5 Pin O-ring Sealed
누수 감지 옵션
Valve Position Sensing
Valve Position Sensing
-
-
 

*흡입 양정 는 시간이 지남에 따라 감소합니다. 원천으로 부터 4.6 m (15 ft.) 이내의 설치 레벨을 추천함.
**최적화된 파라미터로 재현성 향상. 최소한의 흡입 양정은 재현성을 극대화. 자세한 사항은 White Knight 사 또는 지역 대리점 에 연락.
상온에서 물로 실시한 테스트. 최대/최소 공압인 80 psi 과 60 psi 일때 전체 행정에서 측정한 토출 범위.