정량 펌프
White Knight 사 정량 펌프는 정확한 화학 혼합물을 얻기위하여 매엽식 공정 장비나 사전 혼합 베셀에서 조절가능한 유량을 제공 하거나 상부에서 직접 인라인 (in-situ) 믹싱을 허용. 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 응용작업을 위한 정확히 토출하는 고 순도 펌프. 포토 레지스트, 에칭 및 클린 공정에 이상적.
- 수동이나 전기적으로 행정 속도를 전부 조정 가능
- 토출량 ≤ 50 ml or ≤ 100 ml, 모델에 따라
- 고 정확도 ; ± 0.01% or ± 0.1% 재 현성, 모델에 따라
- 금속에 노출되지 않아서 부식과 오염을 방지
- 고 순도 케미칼을 위한 PTFE 전체-곡선형 유체 경로
- PEM 펌프의 특징은 프로그램 가능한 시스템 로직과 2-6 포트
미니 펌프
PPMC 미니 펌프는 최대 300 ml/분 유량 과 160 psi 토출 압력을 제공. PTFE 및 PFA 유체 경로 와 스프링 부하식 체크 밸브로 인하여 자유로운 펌프 설치 방향. 솔레노이드 밸브는 각각의 흡입 과 토출시 작동.
- ≤ 300 ml/분 유량
- ≤ 11 Bar (160 psi) 유체 압력
- ≤ 7 Bar (100 psi) 공압
- ≤ 100°C (212°F)
- ≤ 0.5 m (20 in) 흡입 양정
- 금속없는 유체 경로
사양서
| 펌프 모델 | |||
| 토출 범위 또는 최대 유량 | 1 - 50 ml/행정 |
10 - 100 ml/행정 |
~0.75 ml/행정 |
| 토출 재현성 | ± 0.01% (Full Scale) |
± 0.1% (Full Scale) |
- |
| 분당 회전수 | ≤ 6 CPM |
≤ 12 CPM |
≤ 400 CPM |
| 유체 경로 재질 | PTFE |
PTFE |
PTFE, PFA |
| 최대 공기압 | 4.14-5.86 Bar (60 - 85 psi) |
4.14-5.86 Bar (60 - 85 psi) |
7 bar (100 psi) |
| 최대 토출 압력 | 5.51 Bar
(80 psi) |
5.86 Bar
(85 psi) |
11 Bar (160 psi) |
| 온도 | ≤ 100°C (212°F) |
≤ 100°C (212°F) |
≤ 100°C (212°F) |
| 흡입 양정 | 4.6 m (15 ft) |
4.6 m (15 ft) |
508 mm (20 in) |
| 통신 | Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA) |
- |
Turck Connector 5 Pin O-ring Sealed |
| 누수 감지 옵션 | Valve Position Sensing |
Valve Position Sensing |
- |
*흡입 양정 는 시간이 지남에 따라 감소합니다. 원천으로 부터 4.6 m (15 ft.) 이내의 설치 레벨을 추천함.
**최적화된 파라미터로 재현성 향상. 최소한의 흡입 양정은 재현성을 극대화. 자세한 사항은 White Knight 사 또는 지역 대리점 에 연락.
상온에서 물로 실시한 테스트. 최대/최소 공압인 80 psi 과 60 psi 일때 전체 행정에서 측정한 토출 범위.