低流量泵

为小流量设计的高纯的泵

White Knight 高纯电动计量泵和气动计量泵

计量泵

计量泵提供在单晶片处理工具或预混容器使用,以确保精确的化学混合物,并且允许在原位直接在头部混合调节流速。 泵是在高纯化学品的精确分配补充,混合,计量等应用,以及清洗CVD设备和光刻。

  • 完全可调的行程速度手动或电控
  • 配液量高达50或100毫升,取决于何种型号
  • 高精度泵可提供高达±0.01%或±0.1%重复性,取决于具体型号和使用
  • 无暴露的金属防止腐蚀和污染
  • 为高纯化学品全聚四氟乙烯材质的液体管路
  • PEM泵可进行系统逻辑编程,并可提供2至6的出口
计量泵PEM050 规格表PPM100 规格表
White Knight PHC40 高压泵

高压泵

PHC40高压计量泵可提供高达40 Bar(580 psi)液体排出压力。 它供液量高达60毫升/分钟。 无金属液的路径,以防止离子污染。 最高允许工作压力7公斤最高。

  • 持续的、稳定的流量
  • 40 Bar(580 psi)液体供应压力
  • 7公斤(100psi)气压
  • 它供液量高达60毫升/分钟
  • 非金属的液体通路
  • 高压设计
高压泵PHC40规格表
White Knight PPMC 微型泵

微型泵

PPMC微型泵能够达到300 ml/min的流速和160磅排放压力。 液体路径全Teflon® PTFE和PFA结构,可以任意位置安装。 电磁阀启动每个吸入和排出。

  • 最高300毫升/分钟的流量
  • 最高11 Bar(160 psi)液体排出压力
  • 最高7公斤(100psi)气压
  • 最高100度
  • 最多吸液高度为0.5米
  • 非金属的液体通路
PPMC微型泵PPMC规格表

规范

 
最大流量
1 - 50 ml per stroke
10 - 100 ml per stroke
60 ml/min
~0.75 ml per stroke
重复性
± 0.01% (Full Scale)
± 0.1% (Full Scale)
-
-
最大的每分钟循环
6 CPM
12 CPM
5 CPM
400 CPM
流通管路材质
PTFE
PTFE
Sapphire, PEEK,
PTFE, FFKM
PTFE, PFA
最大气压
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
7 bar (100 psi)
7 bar (100 psi)
最大液体排出压力
5.51 Bar (80 psi)
5.86 Bar (85 psi)
40 Bar (580 psi)
11 Bar (160 psi)
最高温度
≤ 100°C (212°F)
≤ 100°C (212°F)
≤ 80°C (176°F)
≤ 100°C (212°F)
吸升高度
4.6 m (15 ft)
4.6 m (15 ft)
-
508 mm (20 in)
通信
Serial, Ethernet, or Digital
(0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
-
-
Turck Connector
5 Pin O-ring Sealed
泄漏检测可行的
Valve Position Sensing
Valve Position Sensing
-
-
 

*Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 4.6 m (15 ft.) above source.
**Optimized parameters can improve repeatability. Minimize suction lift to maximize repeatability. Contact White Knight for details.
Tests conducted with water at ambient temperature. Dispense range measured at full stroke with maximum and minimum supply pressures at 80 PSI and 60 PSI.