低流量ポンプ

低流量向けに設計された高純度ポンプ

White Knight 高純度 定量ポンプ

定量ポンプ

White Knightの定量ポンプは、枚様式プロセス装置や予混合槽内で使用できるよう調節可能な流量を提供し、ヘッドでの現場(in-situ)混合を可能にしています。 これらのポンプは、補充、ブレンド、添加、及び混入用途で、高純度薬品を正確に供給します。 これらは、フォトレジスト、エッチング、及びクリーニングプロセスに理想的です。

  • マニュアル又は電子的に制御できる自由に調整可能なストローク速度
  • 最大50ml又は100mlの供給容量(モデルにより異なる)
  • モデルと用途によって異なりますが、最高±0.01%又は±0.1%の再現性を持つ高精度ポンプ
  • 腐食や汚染の原因となる露出金属を使用していません
  • 高純度アプリケーション向けに完璧に清掃されたTeflon® PTFE流路
  • PEMポンプはプロhグラマブル・システム・ロジックが特長で、2-6ポートを装備可能です
高純度 定量ポンプ
PEM050 仕様書PPM100 仕様書
PHC40 高圧ポンプ

高圧ポンプ

PHC40 高圧定量ポンプは、最高4MPa(580 psi)の液体吐出圧力を提供します。 PHC40は最高毎分60 mlを供給します。 これらは、イオン汚染を防止するために、一切金属を使用しない流路を特長としています。 これらのポンプは、空気供給圧力最大許容圧力0.7MPa(100 psi)で動作可能です。

  • 連続し安定した流量
  • 最高圧力4MPa(580 psi)
  • 最高圧力0.7MPa(100 psi)
  • は最高毎分60 mlを供給します
  • 金属を使用しない流路
  • 圧力増大設計
PHC 高圧ポンプ
PHC40 仕様書
White Knight PPMCミニポンプ

ミニポンプ

PPMCミニポンプは、最高流量300 ml/分、吐出圧力160 psiで動作可能です。 これらは、Teflon® PTFE及びPFA流路を特長とし、スプリング内蔵チェックバルブによりポンプをいかなる向きにも搭載することができます。 ソレノイドバルブは、各揚程と供給を作動させます。

  • 最高流量300 ml/分
  • 最高1.1MPa(160 psi)の液体吐出圧力を提供します
  • 最高圧力0.7MPa(100 psi)
  • 最高温度100℃
  • 0.5 最高吸込揚程
  • 金属を使用しない流路
PPMC ミニポンプ
PPMC 仕様書

仕様

 
Dispense Range or Max Flow Rate
1 - 50 ml per stroke
10 - 100 ml per stroke
60 ml/min
~0.75 ml per stroke
Dispense Repeatability
± 0.01% (Full Scale)
± 0.1% (Full Scale)
-
-
Cycles Per Minute
≤ 6 CPM
≤ 12 CPM
≤ 5 CPM
≤ 400 CPM
Fluid Path Materials
PTFE
PTFE
Sapphire, PEEK,
PTFE, FFKM
PTFE, PFA
Max Air Pressure
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
7 bar (100 psi)
7 bar (100 psi)
Max Discharge Pressure
5.51 Bar (80 psi)
5.86 Bar (85 psi)
40 Bar (580 psi)
11 Bar (160 psi)
Temperature Capability
≤ 100°C (212°F)
≤ 100°C (212°F)
≤ 80°C (176°F)
≤ 100°C (212°F)
Suction Lift
4.6 m (15 ft)
4.6 m (15 ft)
-
508 mm (20 in)
Communication
Serial, Ethernet, or Digital
(0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
-
-
Turck Connector
5 Pin O-ring Sealed
Leak Detection Options
Valve Position Sensing
Valve Position Sensing
-
-
 

*Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 4.6 m (15 ft.) above source.
**Optimized parameters can improve repeatability. Minimize suction lift to maximize repeatability. Contact White Knight for details.
Tests conducted with water at ambient temperature. Dispense range measured at full stroke with maximum and minimum supply pressures at 80 PSI and 60 PSI.