高純度的 低流量泵

為小流量設計的高純度的泵

White Knight 高純度的 計量泵

計量泵

計量泵 提供在單晶片處理工具或預混容器使用,以確保精確的化學混合物,並且允許在原位直接在頭部混合調節流速。 泵是在高純度化學品的精確分配補充,混合,計量等應用,以及清洗CVD設備和光刻。 非常好的適用光刻,蝕刻和清洗工藝。

  • 可調式的行程速度可手動或電控
  • 配液量高達50或100毫升,取決於何種型號
  • 高精度泵可提供高達±0.01%或±0.1%重複性,取決於具體型號和使用
  • 無暴露的金屬防止腐蝕和污染
  • 為高純度化學品全聚四氟乙烯材質的液體管路
  • PEM泵可進行系統邏輯程式設計,並可提供2至6的出口
高純度的計量泵PEM050 規格表PPM100 規格表
White Knight PHC40 高壓泵

高壓泵

PHC 高壓計量泵 可提供高達40 Bar(580 psi)液體排出壓力。 它供液量高達60毫升/分鐘。 無金屬液的路徑,以防止離子污染。 最高允許工作壓力7公斤最高工作溫度100°C。

  • 持續的、穩定的流量
  • 可提供高達40公斤(580 psi)液體排出壓力
  • 可提供高達7公斤(100 psi)氣壓
  • 它供液量高達60毫升/分鐘
  • 非金屬的液體通路
  • 高壓設計
PHC 高壓泵PHC40 規格表
White Knight PPMC 微型泵用于半导体制造

微型泵

PPMC 微型泵 能夠達到300 ml / min的流速和160 psi 排放壓力。 液體路徑全Teflon® PTFE和PFA結構,可以任意位置安裝。 電磁閥啟動每個吸入和排出。

  • 能夠達到300毫升/分鐘的流量
  • 能夠達到11公斤(160 psi)流量壓力
  • 可提供高達7公斤(100psi)氣壓
  • 最高100°C度
  • 最多吸液高度為0.5米
  • 非金屬的液體通路
PPMC 微型泵PPMC300 規格表

規範

 
Dispense Range or Max Flow Rate
1 - 50 ml per stroke
10 - 100 ml per stroke
60 ml/min
~0.75 ml per stroke
Dispense Repeatability
± 0.01% (Full Scale)
± 0.1% (Full Scale)
-
-
Cycles Per Minute
≤ 6 CPM
≤ 12 CPM
≤ 5 CPM
≤ 400 CPM
Fluid Path Materials
PTFE
PTFE
Sapphire, PEEK,
PTFE, FFKM
PTFE, PFA
Max Air Pressure
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
4.14 - 5.86 Bar
(60 - 85 PSI)
7 bar (100 psi)
7 bar (100 psi)
Max Discharge Pressure
5.51 Bar (80 psi)
5.86 Bar (85 psi)
40 Bar (580 psi)
11 Bar (160 psi)
Temperature Capability
≤ 100°C (212°F)
≤ 100°C (212°F)
≤ 80°C (176°F)
≤ 100°C (212°F)
Suction Lift
4.6 m (15 ft)
4.6 m (15 ft)
-
508 mm (20 in)
Communication
Serial, Ethernet, or Digital
(0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA)
-
-
Turck Connector
5 Pin O-ring Sealed
Leak Detection Options
Valve Position Sensing
Valve Position Sensing
-
-
 

*Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 4.6 m (15 ft.) above source.
**Optimized parameters can improve repeatability. Minimize suction lift to maximize repeatability. Contact White Knight for details.
Tests conducted with water at ambient temperature. Dispense range measured at full stroke with maximum and minimum supply pressures at 80 PSI and 60 PSI.