產品為了半導體製造和製造

高純度泵、閉迴路系統、及配件

White Knight 泵

White Knight 高純度的泵使半導體製造商可構建更小更低廉的電路製造成本。 我們的高純度泵建立在數十年的工程創新和內部製造的經驗上的,這種經驗使 White Knight 提供安全、可靠的泵、需要極少的維護甚至可在最惡劣和最苛刻要求的環境中使用。White Knight 波風囊泵隔膜泵、 和 計量泵、 在半導體行業提供化學品供酸/循環和改造。

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White Knight 用於半導體製造的氣驅雙風泵

氣體驅動的雙風囊泵

White Knight 氣動動泵全Teflon® PTFE和PFA液的路徑。 可靠、無洩漏泵提供高流率、穩定的壓力和穩定的溫度。 不含金屬、橡膠O型圈、葉輪或電動機。 可以將管路內的液體打空並且提供較高的吸液高度。

氣體驅動的雙風囊泵
White Knight AODD 高純度的氣體驅動的雙風囊泵

氣體驅動的雙膜片泵

有Teflon® PTFE或UHMW (PE)耐腐蝕液體通道的高純度氣動隔膜泵(AODD)。 T安全、可靠的泵可以提供卓越的性能和簡單的維護。 PSB系列泵是一種老式的化學品輸送泵的直接改進型號。

氣體驅動的雙膜片泵
White Knight Metering Pumps for Chemical Dispense

計量泵

氣動計量泵電子計量泵 有PTFE材質液體通路和準確配液流量從50ml起達100ml。 使用PTFE活動的膜片、較高的出口壓力可以安全可靠的進行補充、混合、計量等。

計量泵
White Knight PPMC 微型泵用于半导体制造

微型泵

微型泵使液體接觸部分為PTFE和PFA可能使用在高純度化學品中。微型泵能夠達到300毫升/分鐘的流速和160 psi 排放壓力。電磁閥控制每個吸入和排出。

微型泵
White Knight High-Purity Back-Pressure Regulators

調壓閥

自動維護和準確的系統壓力控制為閉迴路回路或多系統滴液或點分佈而無需額外的電路或回饋。全Teflon® PTFE液的路徑。 最高在100°C和7公斤(100 psi)。

調壓閥
White Knight High-Purity Pressure Vessels

壓力容器

White Knight 的Teflon® PTFE壓力容器提供層流工作臺使用作為化學控制或混合罐。 Teflon® PTFE和PFA液體路徑為化學品釋放和混合在苛刻的應用程式。

壓力容器
CBA液氣分離器在化學品輸送過程中去除氣泡

液氣分離器

的液氣分離器可減少高純度化學品輸送和晶圓加工後所產生的氣泡。它們具有4英寸內徑,可提供更大的表面積來去除氣泡。它們可以有各種可連接的管路長度。

液氣分離器
White Knight 高純度閉迴路系統

高純度閉迴路系統

自動保持層流或穩定的壓力與金屬的閉迴路控制系統提供穩定的溫度、死的頭和吸入器的提升。

控制您的高純度化學品製程和供應系統。 簡化流程自動化、以節省時間、資源和降低成本。

  • 最高流量140升每分鐘
  • 最高7公斤(100PSI)壓力
  • 最高210°C度
  • 保持穩定的溫度
  • 不含金屬、無腐蝕、消除了潛在的污染
  • 無橡膠O形圈、不漏水、無需緊固
  • 無電機、無發熱
  • 無葉輪、無微泡
高純度閉迴路系統

濕式工藝罐

Global Standard for Static and Recirculating Processes

Accubath Heated Quartz Process Tank Silicon Nitride Etch

Accubath® 加熱的石英濕式工藝罐

Accubath® 加熱的石英濕式工藝罐 processes for quartz-compatible chemistries up to 190°C…

加熱的石英濕式工藝罐
Accubath PVDF QDR Process Tank

Accubath® Teflon, PVDF, PFA, NPP 濕式工藝罐

Accubath® Teflon, PVDF, PFA, NPP 濕式工藝罐 minimize welding and seams to reduce particles…

高純度濕式工藝罐
Accubath Stainless Steel Recirculating Heated Tank

Accubath® 加熱的不銹鋼濕式工藝罐

Accubath® 加熱的不銹鋼濕式工藝罐 for reliable and safe performance in static and recirculating systems…

加熱的不銹鋼濕式工藝罐
Accubath XE-Lab System Wet Etch Bath

Accubath® 高溫藍寶石濕蝕刻處理罐

Accubath® 高溫藍寶石濕蝕刻處理罐 safely and reliably heat chemistries up to 300°C…

高溫藍寶石濕蝕刻處理罐
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems PVDF Quick Dump
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Quartz Recirculating
Accumeg Megasonic Cleaning Tank Systems Stainless Steel

PVDF、石英、或不銹鋼 Megasonic 系統

Accumeg® Megasonic Cleaning Tanks & Systems

Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank

Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals

  • Reliable components
  • Extensive 36 month warranty
  • Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
  • High watt density
  • Operates at 70°C+
  • Field replaceable transducer arrays, components rated > 50,000 hours MTBF
Accumeg® Megasonic 系統

White Knight 熱水器系統

用於超純流體和氣體的加熱器

Accuheat PFA In-Line Chemical Heaters

Accuheat® PFA 化學品直列式流體加熱器

Accuheat® PFA 化學品直列式流體加熱器 are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…

PFA 化學品直列式流體加熱器
Accuheat Quartz In-Line Chemical Heaters Dual Tube 12000 Watts

Accuheat® 石英化學品直列式流體加熱器

Accuheat® 石英化學品直列式流體加熱器 consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…

石英化學品直列式流體加熱器
Accuheat PFA In-Line Solvent Heaters

Accuheat® PFA 直列式溶劑加熱器

Accuheat® PFA in-line solvent heaters are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…

PFA 直列式溶劑加熱器
Accuheat Quartz In-Line Gas Heaters

Accuheat® 石英 Gas 直列式加熱器

Accuheat® 石英 Gas 直列式加熱器 for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…

石英 Gas 直列式加熱器
Heateflex Aquarius Deionized (DI) Water Heater Systems

Aquarius® 去離子(DI)熱水器系統

Aquarius® 去離子(DI)熱水器系統 are the perfect solution for high-purity heating applications that…

Aquarius® 加熱器
Heateflex Fluidix Steam Powered Deionized DI Water Heater Systems

Fluidix® 蒸汽動力的去離子(DI)熱水器系統

Fluidix® 蒸汽動力的去離子(DI)熱水器系統 offer the semiconductor industry a low-cost alternative to…

Fluidix® 加熱器
Heateflex HC PFA超純內聯流體加熱器

PFA超純內聯流體加熱器

HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…

PFA 加熱器
Heateflex LH1 PVDF PFA 超純內聯流體加熱器

PVDF/PFA超純內聯流體加熱器

PVDF/PFA超純內聯流體加熱器 ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…

PVDF/PFA 加熱器
Heateflex PFA Immersion Tank Grid Heaters

PFA浸入式水箱加熱器

PFA 浸入式水箱加熱器 are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…

PFA 水箱加熱器
Heateflex Vesper PVDF PFA Heat Exchangers

Vesper™ PVDF PFA 熱交換器

Vesper™ PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…

Vesper™ 熱交換器
Heateflex Aries Solvent Heaters

Aries 溶劑加熱器

Aries solvent heaters safely heat thermally-sensitive fluids such as Isopropyl Alcohol (IPA), EKC photoresist remover…

Aries 溶劑加熱器
Heateflex Poseidon 不銹鋼超純流體加熱器系統

Poseidon™ 不銹鋼超純流體加熱器系統

Poseidon™ 不銹鋼超純流體加熱器系統 offer a unique option for manufacturing operations requiring…

Poseidon™ 加熱器
Heateflex True Sanitary In-Line Fluid Heaters

True Sanitary 內聯流體加熱器

Heateflex True Sanitary in-line fluid heaters meet the demanding fluid heating applications of semiconductor, medical..

True Sanitary 加熱器
Heateflex N2 Stainless Steel Heaters

不銹鋼N2加熱器

不銹鋼N2加熱器 are for high-purity wafer drying and parts cleaning. They are suitable for nitrogen, clean dry air (CDA) and other inert gases.

不銹鋼N2加熱器
Heateflex 用於超純流體和氣體的加熱器

White Knight流體和氣體的加熱器

White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water, chemicals, gases, and solvents.

White Knight 流體和氣體的加熱器