- 電子制御で調節可能なストローク
- 最大50 mlの供給容量
- 最高±0.01%の再現性を持つ高精度ポンプ
- 吐出能力60 – 80 psi
- プログラマブル・システム・ロジック
- 2ポートから6ポートで構成可能
概要
White Knightの定量ポンプは、枚様式プロセス装置や予混合槽内で使用できるよう調節可能な流量を提供し、ヘッドでの現場(in-situ)混合を可能にしています。これらのポンプは、補充、ブレンド、添加、及び混入用途向けだけでなくCVD装置の洗浄やフォトリソグラフィ向けに、高純度薬品を正確に供給することができます。これらは、基板導入に先立ち、フォトレジスト、エッチング及びクリーニングプロセス、ピラニア混合物内への過酸化物添加、及びその他の薬品混合物をプロセスタンクにブレンドする用途に理想的です。
特長とメリット
- 自由に調整可能なストローク速度
- 保守が不要な安全でリークのない動作
- 腐食や汚染の原因となる露出金属を使用していません
- 高純度薬品向けに完璧に清掃されたPTFE流路
- PPハウジング付きPTFEローリングダイヤフラム
- 容易なセットアップとモニタリングのための仮想位置基準
- スナップ着脱式マウントの採用で設置と修理が容易
- どんな向きでも設置可能
- クリーンルームでの組み立て、試験、及び梱包
- リーク検出ポート
- 自給式
- 小設置面積
- 最小限の維持容積
- 正の入口/出口バルブは流れの通過を防止します
仕様
| Dispense Range | 1 - 50 ml per stroke |
10 - 100 ml per stroke |
| Dispense Repeatability | ± 0.01% (Full Scale) |
± 0.1% (Full Scale) |
| Cycles Per Minute | up to 6 CPM |
up to 12 CPM |
| Air Consumption SCF per Cycle |
1-3 SCFM |
0.038-0.048 SCFM |
| Fluid Path Materials | PTFE |
PTFE |
| Valve Actuation Air Pressure |
4.14 - 5.52 Bar (60 - 80 psi) |
4.14 - 5.86 Bar (60 - 85 psi) |
| Max Discharge Pressure | 3.8 Bar (55 psi) |
5.86 Bar (85 psi) |
| Temperature Capability | up to 100°C (212°F) |
up to 100°C (212°F) |
| Weight | 2.95 kg (6.5 lb) |
1.6 kg (3.5 lb) |
| Suction Lift* | 4.6 m (15 ft) |
4.6 m (15 ft) |
| Communication | Serial, Ethernet, or Digital (0-5 V, 0-10 V, 4-20 mA) |
- |
| Leak Detection Options | Valve Position Sensing |
Valve Position Sensing |
*Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 4.6 m (15 ft) above source. Optimized parameters can improve repeatability (up to ± 0.01%). Minimize suction lift to maximize repeatability. Tests conducted with water at ambient temperature. Dispense range measured at full stroke with maximum and minimum supply pressures at 80 psi and 60 psi. Contact White Knight for details.
寸法
"A" |
"B" |
|
|---|---|---|
| PEM050-02 | 2.7 (69) |
11.0 (279) |
| PEM050-03 | 4.2 (107) |
12.5 (318) |
| PEM050-04 | 4.2 (107) |
12.5 (318) |
| PEM050-05 | 5.7 (145) |
14.0 (356) |
| PEM050-06 | 5.7 (145) |
14.0 (356) |
PEM050 寸法のダウンロード（PDF）
