CBAバブル分離器、薬液供給プロセス配管内のバブルを除去する

CBAシリーズのバブル分離器

製品発表

CBAシリーズのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。 内径4インチの大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。 必要に応じて分離器の容量を変更することが出来ます。