정확한 화학적 혼합

정량펌프는 고순도 케미칼을 정확하게 토출합니다

정량 펌프

White Knight 사 정량 펌프는 정확한 화학 혼합물을 얻기위하여 매엽식 공정 장비나 사전 혼합 베셀에서 조절가능한 유량을 제공 하거나 상부에서 직접 인라인 (in-situ) 믹싱을 허용. 펌프는 포토리소그래피 (광식각공정) 나 세정 CVD 장치 뿐만 아니라 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 (응용)작업에서 고순도 케미칼을 정확하게 토출. 감광액, 식각 및 세정 공정, Piranha 혼합에서 과산화수소 소량첨가, 기판의 도입전에 공정 탱크내 케미칼 혼합물의 다른 혼합에 이상적.

  • 충분히 조절 가능한 행정 속도
  • 유지 보수가 없는 안전하고 누수 없는 작동
  • 노출된 금속이 없기 때문에 부식과 오염을 방지
  • 초 고순수 적용 분야를 위한 PTFE 전체-곡선형 유체 경로
  • PTFE 롤링 다이아프램 과 PP 하우징
  • 어느 방향으로도 설치 가능
정량 펌프
White Knight PEM050 Electronic Metering Pumps

전기식 정량 펌프

PEM050 전기식 스테퍼 펌프는 케미칼 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 (응용)작업을 PTFE 유체 경로에서 부식성 매체를 정확하게 1 에서 50 ml 토출. ± 0.01% 재현성 까지 사용가능한 펌프. 60-80 psi 사용 압력. 전기적으로 제어된 조절가능한 스트로크. 전체가 지지되는 PTFE 회전(Rolling) 다이아프램은 최대 압력 성능과 안전을 보장하고 신뢰할수있는 작동. 펌프의 5개 충전 포트는 프로그램 작동이 가능한 시스템 논리에 의해 독립적으로 제어가 가능합니다.

PEM050 전기식 정량 펌프
White Knight 고순도 공압식 정량 정량 펌프

공압식 정량 펌프

PPM100 공압 정량 펌프는 PTFE 유체 경로로 고순도 케미칼을 100 ml 까지 정확하게 토출. ± 0.1% 재현성 까지 사용가능한 펌프. 60-85 psi 사용 압력. 충분히 조절가능한 스트로크 속도. 전체가 지지되는 PTFE 회전(Rolling) 다이아프램은 최대 압력 성능과 안전을 보장하고 신뢰할수있는 작동. Positive 컨트롤 벨브는 체크 벨브의 전형적인 가변성을 제거함으로써 정확도를 보장합니다.

PPM100 공압식 정량 펌프

Heateflex 초 순수한 유체 혼합 및 첨가 시스템

Heateflex Ultra-Pure Fluid Blending & Mixing Systems

개요
Mixing and blending are often the most demanding operations in chemical process applications. Heateflex engineers solutions for industries that rely heavily on mixing, blending and heating technology, such as found in the semiconductor, life science, and food & beverage industries. Heateflex tools enable fast blend times, with added flexibility, ease of cleaning, and a range of customized features that are carefully designed to optimize scale-up and to ensure effective and efficient mixing.

Heateflex also incorporates blending technologies in temperature trimming applications where precise degree control is of utmost importance. Our patented technologies achieve accurate and consistent DI water temperatures by successfully blending cool/ambient water with heated supply water.

Heateflex Fluidix Steam Powered Deionized DI Water Heater Systems

Fluidix® 탈 이온수 히터

Fluidix® steam-powered deionized (DI) water heater systems offer the semiconductor industry a low-cost alternative to…

Fluidix® Heaters
Heateflex Aquarius 탈 이온수 (DI) 히터

Aquarius® (DI) 탈 이온수 히터

Aquarius® (DI) 탈 이온수 히터 are the perfect solution for high-purity DI Water heating applications that require highly accurate temperature control. Its Power-to-Flow Control® feature provides one of the most accurate temperature controls available in DI water heating systems, and it eliminates undesirable overshoots or drops in temperature due to inadequate PID controllers. Aquarius® systems are engineered to deliver high flows of continuous, at-temperature, hot DI water.

  • Ultra-pure design with PVDF/PFA wetted surfaces
  • Programmable logic controller delivers enhanced temperature stability
  • No N2 purge required
  • Plug-and-play system with fully integrated controls
  • High-resolution touch-screen
  • Save costs by reducing the need for multiple immersion heaters
Aquarius® DI Water Heater Systems

White Knight의 혜택 및 기술적 장점

White Knight사 엔지니어는 우수한 유체 관리 솔루션을 만들기 위해 전문적인 기술을 개발합니다. 우리는 양질의 재료와 깨끗한 제조 환경이 중요하다는 것을 알고 있습니다. 업계 최고의 품질 보증하는 고순도펌프를 보증하기 위해 최선의 노력을 다하고 있습니다.