White Knight 사 펌프
White Knight high-purity pumps enable semiconductor manufacturers to build smaller circuits at lower costs. Our pumps are built on decades of innovative engineering and in-house manufacturing. They offer safe, reliable operation with low maintenance even in the harshest and most demanding environments. 당사 고 순도 펌프는 반도체 산업을 위한 케미컬 약액 과 슬러리를 이송, 순환, 재생 및 운반에 사용.
정량 펌프
고순도 공압 정량 펌프 와 전기제어식 정량 펌프는 제각기 100 ml 와 50 ml 를 정확하게 토출. 보충, 혼합, 투약 과 소량 첨가 응용작업을 위한 정확히 토출하는 고 순도 펌프. 포토 레지스트, 에칭 및 클린 공정에 이상적. 전체가 지지되는 PTFE 회전(Rolling) 다이아프램은 최대 압력 성능과 안전을 보장하고 신뢰할수있는 작동.
정량 펌프
압력 베셀
White Knight사 압력 베셀은 POU에 일정한 유량을 공급. 가혹한 적용분야 에서 케미칼 토출과 믹싱을 위한 내화학성 PTFE 와 PFA 로 구성된 유체 경로.
Pressure Vessels
Debubblers
Debubblers reduce bubbles from chemical delivery and wafer process systems. They feature chemically-resistant PTFE and PFA fluid paths for high-purity chemical applications.
Debubblers
고순도 폐 회로 펌프 시스템
비 금속 폐회로 제어 시스템으로 자동적으로 유지되는 층류 또는 일정한 압력은 안정적인 온도, Dead-head 및 흡입 양정을 제공 합니다.
고순도 화학 약액 공정 과 이송 시스템을 제어. 단순 공정 자동화로 시간, 자원 절약및 비용을 감소.
- ≤ 140 lpm (36 gpm) 유량
- ≤ 7 Bar (100 psi) 압력
- ≤ 210°C (410°F) 온도
- 일정한 온도 유지
- 비 금속, 비 부식
- 비 탄성 중합체의 O-링, 비 누수
- 비 전기 모터, 열 상승이 안됨
- 임펠러 없음, 마이크로버블이 없음
고순도 폐 회로 펌프 시스템
Accubath™ 가열 석영 습식 공정 탱크
Accubath™ 가열 석영 습식 공정 탱크 processes for 석영-compatible chemistries up to 190°C…
가열 석영 습식 공정 탱크
Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP 습식 공정 탱크
Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP wet process and rinse tanks minimize welding and seams to reduce particles…
PTFE, PVDF, PFA, NPP 공정 탱크
Accubath™ 가열 스테인레스 스틸 습식 공정 탱크
Accubath™ 가열 스테인레스 스틸 습식 공정 탱크 for reliable and safe performance in static and recirculating systems…
스테인레스 스틸 습식 공정 탱크
Accubath™ Sapphire 습식 에칭 욕조 공정 탱크
Accubath™ sapphire 습식 에칭 욕조 공정 탱크 safely and reliably heat chemistries up to 300°C…
Sapphire 습식 에칭 욕조 공정 탱크
PVDF, PFA, 및 석영 메가 소닉 청소 탱크 시스템
Accumeg™ 메가 소닉 청소 탱크 시스템
Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank
Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals
- Reliable components
- Extensive 36 month warranty
- Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
- High watt density
- Operates at 70°C+
- Field replaceable transducer arrays
Accumeg™ 메가 소닉 청소 탱크 시스템
Accuheat™ PFA 인라인 케미컬 히터
Accuheat™ PFA 인라인 케미컬 히터 are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…
PFA 인라인 케미컬 히터
Accuheat™ 석영 인라인 케미컬 히터
Accuheat™ 석영 인라인 케미컬 히터 consist of ultra-pure 석영 tubes, wrapped in a heater element that provides…
석영 인라인 케미컬 히터
Accuheat™ PFA 인라인 용제 히터
Accuheat™ PFA 인라인 용제 히터 are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…
PFA 인라인 용제 히터
Accuheat™ 석영 인라인 Gas 히터
Accuheat™ 석영 인라인 Gas 히터 for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…
석영 인라인 Gas 히터
Aquarius® 탈 이온수 히터
Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…
Aquarius® 탈 이온수 히터
PFA 초 순수 인라인 유체 히터
HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…
PFA 유체 히터
PVDF/PFA 초 순수 인라인 유체 히터
PVDF/PFA fluid heaters ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…
PVDF/PFA 유체 히터
PFA 침지 탱크 히터
White Knight 침지 탱크 히터 are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…
PFA 침지 탱크 히터
Vesper™ PVDF PFA 열교환 기
Vesper™ Series of PVDF/PFA heat exchangers offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…
Vesper™ 열교환 기
HX50 아담한 히터
HX50 in-line heaters feature compact 50-mm (2-in) diameter housings for low wattage and low-flow applications where space is limited.
HX50 아담한 히터
White Knight 유체 및 가스 히터
White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water, chemicals, gases, and solvents.
White Knight 유체 및 가스 히터
