White Knightのポンプ
White Knightの高純度ポンプは 、半導体メーカーに低コストでの微細回路の製造を可能にしています。当社のテフロン及びPTFE及びPFAポンプは、数十年の革新的なエンジニアリングと社内製造経験に基づいて製作されています。これらは、最も過酷で要求の厳しい環境でも、保守の必要性を最小限に抑えた安全で確実な動作を提供します。White Knightのポンプは、半導体製造用高純度流体を配送、循環、補充、及び搬送します。
高純度閉ループポンプシステム
安定した温度、デッドヘッド、及び吸込揚程を提供する金属を全く使用しない閉ループ制御システムを使用して、ラミナーフローや安定した圧力を自動的に維持します。
お客様の高純度薬液処理及び搬送システムを制御します。プロセスの自動化を簡素化し、時間と資源を節約しコストを低減します。
- 最高流量140 lpm
- 最高圧力0.7MPa(100 psi)
- 最高温度210℃
- 安定した温度を維持
- 金属を使用していないので腐食がないため汚染の可能性を解消
- エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
- モータ未使用のため温度上昇なし
- 羽根車を使用していないためマイクロバブル発生なし
Accubath® 石英ウェットプロセスタンク
Accubath® 石英ウェットプロセスタンク processes using quartz-compatible chemistries up to 190°C…
Accubath® PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク
Accubath® PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク minimize welding and seams to reduce particles…
Accubath® ステンレス鋼ウェットプロセスタンク
Accubath® ステンレス鋼ウェットプロセスタンク for reliable and safe performance in static and recirculating systems…
Accubath® Sapphire ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
Accubath® サファイアウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク safely and reliably heat chemistries up to 300°C…
Accumeg® Megasonic メガソニック洗浄装置
Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank
Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals
- Reliable components
- Extensive 36 month warranty
- Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
- High watt density
- Operates at 70°C+
- Field replaceable transducer arrays, components rated > 50,000 hours MTBF
Accuheat® PFA インライン薬液ヒーター
Accuheat® PFA インライン薬液ヒーター are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…
Accuheat® 石英高純度インライン薬液ヒーター
Accuheat® 石英高純度インライン薬液ヒーター consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…
Accuheat® PFA インライン溶剤ヒーター
Accuheat® PFA インライン溶剤ヒーター are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…
Accuheat® 石英インライン気体ヒーター
Accuheat® 石英インライン気体ヒーター for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…
Aquarius® 脱イオン(DI)温水器システム
Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…
Fluidix® 蒸気で動く脱イオン(DI)温水器システム
Fluidix® 蒸気で動く脱イオン(DI)温水器システム offer the semiconductor industry a low-cost alternative to…
PFA 超純インライン流体ヒーター
HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…
PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター
PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…
PFA 浸漬タンクヒーター
浸漬タンクヒーター are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…
Vesper™ PVDF PFA 熱交換器
Vesper™ Series of PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…
Aries 溶剤ヒーター
Aries solvent heaters safely heat thermally-sensitive fluids such as Isopropyl Alcohol (IPA), EKC photoresist remover…
Poseidon™ ステンレス鋼超純流体ヒーター
Poseidon™ stainless steel ultra-pure fluid heater systems offer a unique option for manufacturing operations requiring…
ステンレス鋼 N2 ヒーター
ステンレス鋼 N2 ヒーター are for high-purity wafer drying and parts cleaning. They are suitable for nitrogen, clean dry air (CDA) and other inert gases.
True Sanitary インライン流体ヒーター
True Sanitary インライン流体ヒーター meet the demanding fluid heating applications of semiconductor, medical..
White Knight 超高純度流体およびガス用ヒーター
White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water (DIW), chemicals, gases, and solvents.