半導体製造向け製品

White Knightのポンプ

White Knightの高純度ポンプは 、半導体メーカーに低コストでの微細回路の製造を可能にしています。当社のテフロン及びTeflon^® PTFE及びPFAポンプは、数十年の革新的なエンジニアリングと社内製造経験に基づいて製作されています。これらは、最も過酷で要求の厳しい環境でも、保守の必要性を最小限に抑えた安全で確実な動作を提供します。White Knightのポンプは、半導体製造用高純度流体を配送、循環、補充、及び搬送します。

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ダイヤフラムポンプ

高純度空圧ダブルダイヤフラムポンプは、Teflon^® PTFE又はUHMW（PE）耐腐食性流路を特長としています。これらの安全で確実なポンプは優れた性能と容易な保守を提供しています。White Knightの シリーズポンプ は、旧式の薬品配送ポンプにそのまま使用できる交換レトロフィットです。

定量ポンプ

空圧定量ポンプ と 電子定量ポンプ は、Teflon^® PTFE流路を特長とし、各々最高100 mlと50 mlで供給します。 全面的に支持されているTeflon^® PTFEローリングダイヤフラムは、圧力機能を最大限に引き上げ、薬品の補充、ブレンド、添加、及び混入で、薬品の安全で確実な供給を保証しています。

ミニポンプ

最高流量300 ml/分、吐出圧力160 psiで動作可能です。 これらは、Teflon^® PTFE及びPFA流路を特長とし、スプリング内蔵チェックバルブによりポンプをいかなる向きにも搭載することができます。 各揚程と供給を作動させます。

圧力レギュレータ

複雑な圧力制御システムも追加する事なく、循環ループ及び複数の供給ポイントの流量管理を自動的に圧力制御する事ができます。これらは、完璧に清掃されたTeflon^® PTFE及びPFA流路を特長としています。前方及び背圧レギュレータは遠隔操作。

圧力容器

White Knightの Teflon^® PTFE及びPFA圧力容器は、使用時に高純度薬品供給用にラミナーフローを提供し、薬品の維持及び混合タンクとして使用します。 これらは、要求の厳しい用途での薬品の供給と混合を可能にする耐薬品性Teflon^® PTFE及びPFA流路を特長としています。

バブル分離器

White Knightのバブル分離器は高純度薬液供給とウエハープロセスより弊害となるバブルを除去します。プロセスに影響を及ぼさない様 接液部はすべてTeflon® PTFE及びPFAを使用。大きな分離層を持つことにより確実にバブルを除去することが出来ます。