White KnightのPXシリーズポンプ

100℃まで使用可能な近接スイッチを装備した高純度ポンプ

PX/PLX Series ポンプは2015年12月31日に製造中止となりました。 より優れた性能、改善された信頼性、延長した寿命、及び短納期をお求めなら PXA140 ポンプ にアップグレードしてください。 以下の比較を参照してください。 PX/PLX シリーズポンプは製造中止後5年間サポートが提供されます。

White Knight PX Series Pumps for Semiconductor

概要

PXシリースポンプは、Teflon® PTFE及びPFA流路を通して薬品を供給します。 これらは、最高100℃の温度で薬品を配送、最高供給圧力7気圧(100 psi)で動作可能です。 これらのポンプはソレノイドバルブと近接スイッチで動作し、2年間の保証期間中連続運転が可能です。 これらのポンプは、各々最高流量30、60、及び120 lpmで動作可能なPX30、PX60、及びPX120の3つのモデルで提供されています。

White Knightは引き続きPX シリーズを提供しサポートしますが、ユーザーの皆様には PXA シリーズポンプ。 交換製品は、より優れた性能、改善された信頼性、延長した寿命、及び短納期を提供します。 以下の比較を参照してください。

特長とメリット

  • Teflon® PTFE及びPFA流路
  • リークのない加工設計
  • エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
  • シャフト等の摺動部にオイル等の潤滑剤を使用しておりません
  • モータ未使用のため温度上昇なし
  • 各種継手オプション
  • 近接センサを使用する競合他社の製品と容易に交換
  • ノンメタルで液漏れのない安全な運転を実現
  • 封入ステンレス製近接ターゲットを装備したポリプロピレン製ヘッド
  • 最小限の構成部品にて耐久性を高めた設計
  • Class 100クリーンルームでの組み立て、試験及び梱包を行っております
  • 設置と修理が容易
  • PX30、PX60、PX120で各々4億、3億、2億サイクル以上の高信頼性を実証
  • 2年保証で期間中のメンテナンスは不要です
2年間保証
高純度
薬液の搬送 最高圧力7気圧(100 psi)
最高温度100℃
近接スイッチで制御されるポンプ

ポンプ 動作

PX シリースポンプは、耐久性を増すためにポンプを迅速かつ効率的にシフトすることによってストロークタイミングを最適化する近接スイッチとソレノイドバルブで動作します。

Proximity Sensor-Controlled Pump Operations Diagram

シャトルバルブ または 光ファイバケーブル

PSA シリーズポンプ は、シャトルバルブで制御されます。
PFA シリーズポンプ は光ファイバセンサで制御されます。

供給空気

排気

大気

シフト信号

液体吸い込み

液体の吐き出し

ポンプ性能 と 寸法

PX30 性能曲線

White Knightの PX30性能曲線

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PX60 性能曲線

White Knightの PX60性能曲線

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PX120 性能曲線

White Knightの PX120性能曲線

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PXA030 性能曲線

White Knightの PXA030性能曲線

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PXA060 性能曲線

White Knightの PXA060性能曲線

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PXA140 性能曲線

White Knightの PXA140性能曲線

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最大流量 比較

PX30 up to 30 lpm (7 gpm)
PXA030 up to 30 lpm (7 gpm)
PX60 up to 60 lpm (15 gpm)
PXA060 up to 60 lpm (15 gpm)
PX120 up to 120 lpm (30 gpm)
PXA140 up to 140 lpm (35 gpm)
PXA シリーズポンプ

ポンプ 仕様

Model
PX30
PX60
PX120
Max Flow Rate*
30 lpm
7 gpm
60 lpm
15 gpm
120 lpm
35 gpm
25.6 lpm
6.76 gpm
68.1 lpm
17.99 gpm
147.6 lpm
38.99 gpm
Size of Air Connection
1/8 or 1/4 in FNPT
1/4 or 3/8 in FNPT
1/4 or 3/8 in FNPT
1/4 in FNPT
1/4 in FNPT
3/8 in FNPT
Displacement Per Cycle*
0.090 liters
0.024 gal
0.190 liters
0.050 gal
0.715 liters
0.189 gal
0.077 liters
0.020 gal
0.649 liters
0.050 gal
0.500 liters
0.132 gal
Cycles Per Minute*
≤ 400
≤ 320
≤ 150
≤ 390
≤ 366
≤ 242
Weight
2.4 kg
5.3 lb
5.0 kg
10.9 lb
16.1 kg
35.4 lb
2.3 kg
5.1 lb
4.8 kg
10.6 lb
15.5 kg
34.2 lb
Suction Lift*
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
1 m (3 ft)
Sound Pressure**
72.95 dB(a)
80.35 dB(a)
75.44 dB(a)
83.44 dB(a)
81.98 dB(a)
91.60 dB(a)
69.54 dB(a)
75.56 dB(a)
68.60 dB(a)
82.12 dB(a)
76.90 dB(a)
80.19 dB(a)
Sound Power**
62.42 dB(a)
70.38 dB(a)
66.94 dB(a)
75.73 dB(a)
76.37 dB(a)
83.16 dB(a)
58.44 dB(a)
64.49 dB(a)
60.66 dB(a)
73.35 dB(a)
74.22 dB(a)
76.42 dB(a)
Max Pressure
7 Bar (100 psi)
7 Bar (100 psi)
Max Temperature
100°C (212°F)
100°C (212°F)
Fluid Path Materials
PTFE / PFA
PTFE / PFA
Non-Fluid Path Materials
PTFE / PFA / PP / SS
PTFE / PFA / PP / SS
Stroke Detection Options
Proximity stroke detection
Proximity stroke detection
Leak Detection Options
Fiber optic with or without sensor, or conductivity
Fiber optic with or without sensor, or conductivity
Electronic Control
Available
Available
Model
PX30
PX60
PX120

*May vary depending on configuration. Suction lift diminishes over time. Recommended installation level less than 3 ft above source.
**dB Level at 60 psi 50 CPM (top) and 60 psi maximum CPM (bottom). Sound Levels measured in accordance with ISO9614-2:1997.
***Dry-run capable PXASD030 and PXASD060 pumps require flooded suction and may have a reduced warranty unless prior arrangements are made with White Knight. Contact White Knight for details.