White Knightのポンプ
White Knightの高信頼性半導体製造向けポンプは、発光ダイオード、フラットパネルディスプレイ、及びその他の電子機器の製造に適しています。 当社の高純度ポンプは数十年にわたる革新的なエンジニアリングと社内製造経験に基づいて製造されているため、White Knightは最も厳しく要求の高い環境でもほとんど保守を必要としない安全で信頼性の高いポンプの提供を可能にしています。ポンプ は、電子機器を製造するために高純度薬品を配送、再循環、補充、及び搬送します。
高純度閉ループポンプシステム
安定した温度、デッドヘッド、及び吸込揚程を提供する金属を全く使用しない閉ループ制御システムを使用して、ラミナーフローや安定した圧力を自動的に維持します。
お客様の高純度薬液処理及び搬送システムを制御します。プロセスの自動化を簡素化し、時間と資源を節約しコストを低減します。
- 最高流量140 lpm
- 最高圧力0.7MPa(100 psi)
- 最高温度210℃
- 安定した温度を維持
- 金属を使用していないので腐食がないため汚染の可能性を解消
- エラストマーOリング未使用、リークなし、増し締め不要
- モータ未使用のため温度上昇なし
- 羽根車を使用していないためマイクロバブル発生なし
Accubath™ 石英ウェットプロセスタンク
Accubath™ 石英ウェットプロセスタンク processes using quartz-compatible chemistries up to 190°C…
Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク
Accubath™ PTFE, PVDF, PFA, NPP ウェットプロセスタンク minimize welding and seams to reduce particles…
Accubath™ ステンレス鋼ウェットプロセスタンク
Accubath™ ステンレス鋼ウェットプロセスタンク for reliable and safe performance in static and recirculating systems…
Accubath™ Sapphire ウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク
Accubath™ サファイアウェーハの洗浄・剥離プロセスタンク safely and reliably heat chemistries up to 300°C…
PVDF、PFA、または石英メガソニック洗浄装置
Accumeg™ Megasonic メガソニック洗浄装置
Gapless Transducer offers better process uniformity in the tank
Transducers with tightly matched crystals wired together in parallel for small potential difference between crystals
- Reliable components
- Extensive 36 month warranty
- Cassette & cassette-less designs for up to 300 mm wafers & larger substrates
- High watt density
- Operates at 70°C+
- Field replaceable transducer arrays
Accuheat™ PFA インライン薬液ヒーター
Accuheat™ PFA インライン薬液ヒーター are ideal for heating hydrofluoric acid (HF), potassium hydroxide (KOH),…
Accuheat™ 石英高純度インライン薬液ヒーター
Accuheat™ 石英高純度インライン薬液ヒーター consist of ultra-pure quartz tubes, wrapped in a heater element that provides…
Accuheat™ PFA インライン溶剤ヒーター
Accuheat™ PFA インライン溶剤ヒーター are ideal for Isopropyl alcohol, Acetone, Ethanol, Toluene, EKC, MEK, NMP,…
Accuheat™ 石英インライン気体ヒーター
Accuheat™ 石英インライン気体ヒーター for Nitrogen (N2), Ammonia (NH3), Helium (He), Argon (Ar), BCl3, HCl, CO, CO2,…
Aquarius® 脱イオン温水器システム
Aquarius® deionized (DI) water heater systems are the perfect solution for high-purity heating applications that…
PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター
PVDF/PFA 超純インライン流体ヒーター ideal for heating deionized water, acids, and less aggressive process chemistries…
PFA 超純インライン流体ヒーター
HC Series in-line heaters feature PFA flow paths for optimal compatibility with aggressive acids and chemicals…
Vesper™ PVDF PFA 熱交換器
Vesper™ Series of PVDF/PFA 熱交換器 offer various solutions for heating, cooling, and temperature trimming for…
PFA 浸漬タンクヒーター
浸漬タンクヒーター are great for heating fluid baths to a constant temperature. These tank heaters are…
HX50コンパクトなヒーター
HX50 in-line heaters feature compact 50-mm (2-in) diameter housings for low wattage and low-flow applications where space is limited.
White Knight 超高純度流体およびガス用ヒーター
White Knight offers a variety of ultra-pure heaters for deionized water (DIW), chemicals, gases, and solvents.